2.由于離子束的原因,,金屬部件暴露在離子注入設(shè)備中會造成高的損耗,故這時應(yīng)用相應(yīng)的石墨件來作屏蔽罩,。
3.我司采用德國西格里石墨,,不僅能為各種離子注入機提供石墨屏蔽罩,且提供各種規(guī)格具有高耐腐蝕性的高純度石墨電極及離子源,。
4.即使在離子轟擊或等離子等工作條件下,,細粒、高密度石墨也不易受腐蝕,。離子轟擊設(shè)備的金屬部件要接觸離子束,,磨損,可使用合適的石墨擋板進行保護,。
我司不僅提供石墨擋板,,還提供適用于各種注入機的電極和離子源,這些石墨產(chǎn)品都具有耐腐蝕和純度高的優(yōu)點,。
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