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一.進(jìn)口真空泵廠家進(jìn)口真空泵廠家介紹
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復(fù)合式真空發(fā)生器結(jié)構(gòu)示意圖
;; 根據(jù)自動(dòng)機(jī)械的動(dòng)作要求,,把若干個(gè)噴嘴、擴(kuò)張管副用串聯(lián),、并聯(lián)的混合方式連接起來(lái),,用以實(shí)現(xiàn)大排氣量和高真空度的復(fù)合式真空發(fā)生器的結(jié)構(gòu)如圖9 所示。它的真空發(fā)生過程與串聯(lián)式的完全相同,。如果在結(jié)構(gòu)上把兩列噴嘴,、擴(kuò)張管副完全隔離開,用分配閥控制向兩列分別供氣,、斷氣,,這樣復(fù)合式真空發(fā)生器就完全具備大功率、大排氣量,、高真空度和率的特性,,應(yīng)該說(shuō)是比較理想的真空發(fā)生元件。
圖9:復(fù)合式真空發(fā)生器示意圖
; 但是,,由于其體積增的羅茨泵和1臺(tái)抽速為70l/s的旋片泵組成,,由它完成對(duì)sfc高、低真空室從---到70pa的粗抽,,也要完成對(duì)sfc 高真空室單獨(dú)抽至10pa。高真空系統(tǒng)由2臺(tái)抽速為1500l/s 的渦輪分子泵和1臺(tái)抽速150l/s的羅茨泵機(jī)組組成,。真空系統(tǒng)由2臺(tái)抽速為20000l/s的/hirfl-800低溫泵和1臺(tái)抽速10000l/s的低溫泵組成,。分子泵與低溫泵共同安裝在一個(gè)泵室中,分子泵與低溫泵之間以及泵室與真空室之間分別由直徑為250mm和630mm 的真空閥門隔開。從---抽至10pa,,大約需要20min,。從10pa到e-3pa 由高真空系統(tǒng)的分子泵完成,約需要2h,。當(dāng)真空度優(yōu)于3e-3pa 時(shí),,低溫泵開始工作。低溫泵工作10h后,,在sfc真空室中心平面上可以獲得1.3e-5pa的真空,。
; sfc真空室從安裝到完成測(cè)磁工作,歷時(shí)6 個(gè)多月,。真空室長(zhǎng)時(shí)間暴露于---之中,,這樣對(duì)要想獲得1.3e-5pa的真空度是較難的。無(wú)好的辦法就是烘烤,。但由于真空室安裝后,,與磁鐵、高頻腔部件,、注入引出元件,、束診元件等都連接在一起,再加上真空室形狀復(fù)雜,,所以用常規(guī)的加熱帶,、烘烤燈等方法來(lái)加熱,因受條件而無(wú)法實(shí)行,。進(jìn)行分析后,,決定采用熱水循環(huán)加熱的方法,對(duì)真空室內(nèi)部的線圈,、覆面等那些在加速器運(yùn)行時(shí)需要用冷卻水的部件,,在抽空時(shí)先用熱水循環(huán),進(jìn)行烘烤,。
; 經(jīng)過計(jì)算,,這部分部件在真空室中的表面積,要占整個(gè)真空室內(nèi)表面積的75%,。加工了一套熱水循環(huán)系統(tǒng),,考慮到線圈是環(huán)氧澆鑄,水溫應(yīng)控制在80度左右,。經(jīng)過10h熱水循環(huán)烘烤后,,真空度從10e-5pa進(jìn)入到10e-6pa,證明了這種烘烤方法是可行的,。
復(fù)合式真空發(fā)生器結(jié)構(gòu)示意圖
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