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stk-5120半自動晶圓減薄后撕膜機(jī)特點(diǎn)：
·機(jī)械手撕膜技術(shù),，無耗材撕膜
·全自動撕膜和收集廢膜
·手動放置和取出晶圓，或帶承載環(huán)貼膜的晶圓
·8”陶瓷晶圓臺盤可以匹配8”晶圓/承載環(huán)
·12”陶瓷晶圓臺盤可以匹配12”晶圓/承載環(huán)
·基于plc控制,帶5.7”觸摸屏
·去離子風(fēng)扇和esd保護(hù)
·uv膜&非uv膜能力
·配置光簾保護(hù)功能，和緊急停止按鈕
·三色燈塔和蜂鳴器用于操作狀態(tài)監(jiān)控
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