上海西遞實(shí)業(yè)有限公司為您提供半導(dǎo)體 集成電路 芯片工業(yè)生產(chǎn)超凈間設(shè)計(jì)和裝修,。為了滿足一些對質(zhì)控要求高的工業(yè)車間生產(chǎn)環(huán)境,,很多企業(yè)選擇建設(shè)無塵車間。精密制造工業(yè)以半導(dǎo)體,、晶片,、集成電路等制造工藝的需求設(shè)置無塵室,業(yè)內(nèi)也叫超凈間,。這種無塵車間對環(huán)境潔凈度,、溫濕度、振動(dòng),、esd,、amc控制等都有一定的要求。相對于其他工業(yè)潔凈室,,這些制造品類的無塵車間有面積大,、潔凈等級(jí)高、溫濕度控制精度特點(diǎn),�,!�
半導(dǎo)體、晶片,、集成電路超凈間的建設(shè)度高且程序復(fù)雜,,要打造真正滿足標(biāo)準(zhǔn)且適合工藝流程的超凈間包含多種維度的建設(shè)內(nèi)容。譬如:建筑構(gòu)造,、內(nèi)部平面,、工藝布置、裝飾裝修,、人員和物料凈化,、暖通系統(tǒng)建設(shè),、自控系統(tǒng)建設(shè),、通排風(fēng)系統(tǒng)建設(shè),、氣體供應(yīng)系統(tǒng)建設(shè)、管網(wǎng)建設(shè)等,。這些內(nèi)容每一個(gè)維度都關(guān)系著該車間目標(biāo)控制標(biāo)準(zhǔn)的達(dá)成,。那么有人就會(huì)問了,,這么多內(nèi)容那得找多少不同技術(shù)領(lǐng)域的團(tuán)隊(duì)來建設(shè),在銜接管理上豈不是相當(dāng)麻煩,。是的,半導(dǎo)體超凈間涉及的技術(shù)領(lǐng)域多,,如果甲方一個(gè)類別一個(gè)類別去尋找,、對接、篩選分包商,,確實(shí)是耗時(shí)又耗力,。這個(gè)時(shí)候,選擇與潔凈工程領(lǐng)域的epc集成服務(wù)商合作,,這些問題就可以迎刃而解了,。ceidi西遞這類潔凈工程epc集成服務(wù)商通常會(huì)承擔(dān)從潔凈工程的整體規(guī)劃開始,到內(nèi)部平面設(shè)計(jì),、各類技術(shù)方案,、施工建設(shè)及過程監(jiān)控、實(shí)驗(yàn)家具及內(nèi)部配套工程一體化的集成服務(wù)整體解決方案,。
因?yàn)殡娮庸I(yè)超凈間【集成電路/半導(dǎo)體超凈間】建設(shè)環(huán)節(jié)較為復(fù)雜,,我們摘出在半導(dǎo)體超凈間建設(shè)環(huán)節(jié)中,暖通系統(tǒng)和氣體供應(yīng)系統(tǒng)的建設(shè)相關(guān)內(nèi)容加以概述,。
半導(dǎo)體,、晶片、集成電路超凈間暖通系統(tǒng)設(shè)計(jì)要點(diǎn):
1.半導(dǎo)體,、晶片,、集成電路超凈間多以萬級(jí)(局部百級(jí))為設(shè)計(jì)目的。要達(dá)到這樣的標(biāo)準(zhǔn),,就必須選擇過濾器(潔凈級(jí)別低時(shí))作為終端過濾器,,對進(jìn)入無塵車間的空氣,進(jìn)行一級(jí)過濾,。為保護(hù)終端過濾器和延長其壽命,,必須使空氣先經(jīng)中效過濾器進(jìn)行過濾。
2.除了考慮潔凈的空氣送風(fēng)外,,還要考慮合理的氣流分布流型,。譬如在工作區(qū)應(yīng)避免渦流區(qū)就一個(gè)盡量使送入房間的潔凈度高的空氣直接到達(dá)工作區(qū);氣流的流動(dòng)有利于潔凈室內(nèi)的微粒從回風(fēng)口排走,。
3.要根據(jù)無塵車間的規(guī)格大小來選擇合適的送風(fēng)設(shè)備,達(dá)到足夠的送風(fēng)量,,以達(dá)到可以稀釋空氣的含塵濃度,,又能有穩(wěn)定氣流流型的目的。
半導(dǎo)體,、晶片,、集成電路超凈間供氣系統(tǒng)設(shè)計(jì)要點(diǎn):
在工藝技術(shù)較為...半導(dǎo)體晶圓工廠的制造過程中,工藝步驟達(dá)幾百道,,前后要使用幾十種不同種類的氣體,。ceidi西遞在設(shè)計(jì)電子工業(yè)超凈間【集成電路/半導(dǎo)體超凈間】過程中會(huì)依據(jù)行業(yè)特色和自身經(jīng)驗(yàn)判斷用哪種供氣方式更適合。譬如晶圓半導(dǎo)體超凈車間,,會(huì)采用外購氣體鋼瓶或鋼瓶組來輸送供氣,,有易燃性氣體、毒性氣體,、腐蝕性氣體,、惰性氣體、氧化性氣體組成的多種類特種氣體需求的,,選擇這種方式會(huì)節(jié)省投資,,且擁有使用方式靈活的優(yōu)點(diǎn),電耗及制氣成本相對也比較低廉,。缺點(diǎn)是在氣體輸送的過程中氣體比較容易受到污染,,對后期就整個(gè)供應(yīng)系統(tǒng)的管理和維護(hù)要求較高。不過這對合作方是ceidi西遞這類總包服務(wù)商來說,,基本上后續(xù)維護(hù)等問題無需擔(dān)憂,。
在半導(dǎo)體、晶片,、集成電路這類電子工業(yè)超凈間建設(shè)過程中,,因?yàn)楣に噺?fù)雜對環(huán)境要求高。要在一定空間內(nèi)清除空氣中的顆粒物,、有害空氣等污染物,,控制室內(nèi)溫度、清潔度,、室內(nèi)壓力,、氣流速度和氣流分布,將噪聲振動(dòng)和照明,、靜電控制在一定需求范圍內(nèi),,需要平面sheji和各技術(shù)段非常精密的計(jì)算與合作,ceidi西遞epc集成服務(wù)商的集成服務(wù)優(yōu)勢在這里可以比較明顯的體現(xiàn)出來,。設(shè)計(jì)團(tuán)隊(duì),、技術(shù)團(tuán)隊(duì)和項(xiàng)目施工團(tuán)隊(duì)已經(jīng)過多年磨合,,對工程建設(shè)的理念和進(jìn)度配合都達(dá)成比較一致的思維,往往能在保質(zhì)保量地完成工程建設(shè)的同時(shí),,將節(jié)能與實(shí)用性做充分的融合,。
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