對(duì)于故障分析而言,,紅外顯微鏡品牌,,微光顯微鏡(emission microscope, emmi)是一種相當(dāng)有用且效率---的分析工具,。主要偵測(cè)ic內(nèi)部所放出光子,。在ic元件中,ehp(electron hole pairs) recombination會(huì)放出光子(photon),。舉例說(shuō)明:在p-n 結(jié)加偏壓,,此時(shí)n阱的電子很容易擴(kuò)散到p阱,紅外顯微鏡廠商,,而p的空穴也容易擴(kuò)散至n然---與p端的空穴或n端的電子做 ehp recombination,。
超聲波掃描顯微鏡的應(yīng)用領(lǐng)域半導(dǎo)體電子行業(yè): 半導(dǎo)體晶圓片,、封裝器件、大功率器件igbt,、紅外器件,、光電傳感器件、smt貼片器件,、mems等,; 材料行業(yè):復(fù)合材料、鍍膜,、電鍍,、注塑、合金,、超導(dǎo)材料,、陶瓷、金屬焊接,、摩擦界面等,;生物醫(yī)學(xué):細(xì)胞動(dòng)態(tài)研究、骨骼,、血管的研究等,。 超聲波掃描顯微鏡有兩種工作模式:基于超聲波脈沖反射和透射模式工作的。反射模式是主要的工作模式,,它的特點(diǎn)是分辨率高,,對(duì)待測(cè)樣品厚度的沒有---。透射模式只在半導(dǎo)體企業(yè)中用作器件篩選,。
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