不銹鋼滾輪導(dǎo)軌-mbe設(shè)備的真空應(yīng)用
不銹鋼滾輪導(dǎo)軌系統(tǒng)由不銹鋼v型導(dǎo)軌和全不銹鋼滾輪軸承組成的,，環(huán)形圓導(dǎo)軌，可適用于真空應(yīng)用環(huán)境中,；詳細(xì)說明，請(qǐng)參考文章：真正-的不銹鋼導(dǎo)軌系統(tǒng)：
分子束外延mbe設(shè)備的真空室為真空環(huán)境,。真空通常用于表面科學(xué)設(shè)備中：一般來說,，空氣中的分子會(huì)附著在暴露于空氣中的固體的表面，環(huán)形圓導(dǎo)軌公司,，并改變固體的表面特性,；即使在10-6mba的高真空當(dāng)中,，3秒之內(nèi)就會(huì)有一層分子附著在的固體表面,；
桁架機(jī)械手的工作狀態(tài)和使用壽命同其結(jié)構(gòu)的動(dòng)態(tài)特性有很大的關(guān)系，因此有-對(duì)其進(jìn)行詳細(xì)的動(dòng)態(tài)特性分析,。動(dòng)態(tài)特性的理論分析和實(shí)驗(yàn)研究,，環(huán)形圓導(dǎo)軌價(jià)格，采用的主要方法是模態(tài)分析法,，包含如下三大部分：
一：靜剛度分析
靜剛度是衡量桁架機(jī)械手-劣的一個(gè)重要指標(biāo),。當(dāng)滑枕沿豎直方向移動(dòng)到下端時(shí)，其伸出量,，此時(shí)變形也,，所以整機(jī)的靜剛度分析選擇此-械手的位置來計(jì)算，可計(jì)算出滑枕下端沿各個(gè)軸向的靜位移量：
x軸向：0.210mm
y軸向：0.190mm
z軸向：0.010mm
由計(jì)算結(jié)果可知,，環(huán)形圓導(dǎo)軌應(yīng)用,，整個(gè)機(jī)構(gòu)在x方向的變形量，剛度較弱,，這是由于滑枕承載時(shí),，橫梁產(chǎn)生了扭曲變形所致。同時(shí)滑枕也是該機(jī)械手靜剛度的薄弱環(huán)節(jié),，可以采用加強(qiáng)筋或增加滑枕鋁型材的壁厚等措施來提高靜剛度,。
滾輪圓弧導(dǎo)軌為精密類導(dǎo)軌產(chǎn)品，為了-加工精度,，所有的表面都經(jīng)過精密磨削加工：
圓弧導(dǎo)軌的工作精度指標(biāo)-圓跳動(dòng),，可分為徑向圓跳動(dòng)和端面圓跳動(dòng)：
1. 徑向圓跳動(dòng)：公差帶是在垂直于基準(zhǔn)軸線的任一測(cè)量平面內(nèi),，且圓心在基準(zhǔn)軸線上的兩個(gè)同心圓之間的區(qū)域：
三個(gè)重要的影響因素為：
圓弧導(dǎo)軌安裝面b/c的加工精度：
圓弧臺(tái)階基準(zhǔn)加工精度：
滾輪v型槽直徑尺寸精度：
2. 端面圓跳動(dòng)：公差帶是在與基準(zhǔn)軸線同軸的任一半徑位置的測(cè)量圓柱面上，沿母線方向的兩平行圓之間的區(qū)域：
三個(gè)重要的影響因素為：
圓弧導(dǎo)軌尺寸精度i：
水平面基準(zhǔn)加工精度：
滾輪安裝高度b1尺寸精度：
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