研磨機(jī)空負(fù)荷運(yùn)轉(zhuǎn)：

　　1、主機(jī)空負(fù)荷試運(yùn)轉(zhuǎn)按轉(zhuǎn)向要求,，其運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間不少于1h,。

　　2、主機(jī)空負(fù)荷運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí),，應(yīng)將磨輥裝置用鋼絲繩扎緊,，避免磨輥與魔環(huán)接觸打擊，如---,，亦可將磨輥裝置拆卸 ,。

　　3、主機(jī)空負(fù)荷試運(yùn)轉(zhuǎn)應(yīng)平穩(wěn),，潤(rùn)滑油高 溫度不得超過(guò)800 攝氏度,，溫升不得超過(guò)400c,。分析大小錐齒輪運(yùn)轉(zhuǎn)應(yīng)平穩(wěn),，無(wú)不正常聲音，并---油路 暢通,。

　　4,、鼓風(fēng)機(jī) 應(yīng)觀察轉(zhuǎn)動(dòng)方向，不應(yīng)有不正常聲音和沖擊振動(dòng),。滾動(dòng)軸承和潤(rùn)滑油高溫度不得超過(guò)700攝氏度,，溫升不超過(guò)400c.管道裝置中個(gè)法接觸不應(yīng)有漏風(fēng)現(xiàn)象。

　　5,、振動(dòng)研磨機(jī)磨粉產(chǎn)量達(dá)到規(guī)定 指標(biāo) ,。調(diào)整 分析機(jī)轉(zhuǎn)速，使成品粒度控制在0.44-0.125mm范圍內(nèi),。

　　6,、經(jīng)空負(fù)荷及負(fù)荷運(yùn)轉(zhuǎn)合格后，再次把緊固擰 緊,，即可 投入正常運(yùn)行,。

　　拋光機(jī)加工小心化學(xué)腐蝕

　　拋光機(jī)加工前先將硅單晶棒研磨成具有直徑的單晶棒，再沿單晶棒的晶軸方向研磨出主,、次參考面,，干式研磨機(jī)廠家，用氫氟,、和冰醋的混合液腐蝕研磨面,，稱為減徑腐蝕。

　　拋光機(jī)加工過(guò)多，硅表面的化學(xué)腐蝕一般采用濕法腐蝕,，硅表面腐蝕形成隨機(jī)分布的微小原電池,，腐蝕電流較大，一般超過(guò)100a/cm2,，但是出于對(duì)腐蝕液高純度和減少可能金屬離子污染的要求,，目前主要使用氫氟hf，(hno3)混合的性腐蝕液,，以及化鉀(koh)或化鈉naoh等堿性腐蝕液�,，F(xiàn)在主要用的是hno3-hf腐蝕液和naoh腐蝕液。下面分別介紹這兩種腐蝕液的腐蝕化學(xué)原理和基本規(guī)律,。