1.該設(shè)備為單工位多工能清洗工藝,，主要由：旋轉(zhuǎn)洗劑刷洗、旋轉(zhuǎn)噴淋漂洗及旋轉(zhuǎn)甩干三部分組成,；整個(gè)清洗流程為全自動(dòng)工作方式；只需人員完成放料出即可,；
2.該設(shè)備設(shè)計(jì)合理，充分考慮了和節(jié)能的要求；
3.采用全封閉式結(jié)構(gòu),，設(shè)備封罩前、上,、左右設(shè)透明鋼化玻璃,；可時(shí)時(shí)觀察產(chǎn)品清洗情況；
4.設(shè)備后部設(shè)有洗劑副槽和漂洗水副槽,，設(shè)備底部設(shè)有各自供液泵,；
5、旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)主要由：電機(jī),、旋轉(zhuǎn)基座,、旋轉(zhuǎn)盤、產(chǎn)品及工裝組成,；
6,、旋轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)速由三菱變頻器控制；
7,、設(shè)封罩上設(shè)有排氣口,，保持運(yùn)行時(shí)的風(fēng)始終外溢，避免清洗室內(nèi)產(chǎn)生水汽,，也不會(huì)對(duì)清洗的產(chǎn)品產(chǎn)生二次污染,；
8、設(shè)備正面設(shè)有后翻式氣缸門,，晶圓清洗臺(tái),，供進(jìn)出料用；
9,、每個(gè)工藝工序清洗,、刷干時(shí)間可跟據(jù)實(shí)際情況在觸摸上設(shè)定；
適用于硅片晶圓濕法清洗,、濕法刻蝕,、顯影、去膠,、lift-off等工藝,；標(biāo)準(zhǔn)吸盤適用于2-12英寸晶圓，其它規(guī)格可定制,；一體式清洗腔體,；進(jìn)口伺服電機(jī)控制，轉(zhuǎn)速及工藝時(shí)間參數(shù)可自由設(shè)定,；采用進(jìn)口旋轉(zhuǎn)電機(jī),，運(yùn)行安靜平穩(wěn),，故障率低；真空吸盤采用peek+ptfe材質(zhì),，強(qiáng)度高,、耐腐蝕、密封性能好,；載片臺(tái)采用真空吸附+pin定位,，鎮(zhèn)江清洗，防止甩片碎片,；真空度≤-100kpa；化學(xué)液及純水自動(dòng)供應(yīng),，流量可視可調(diào),；可裝配裝取片機(jī)器人；配套藥液供應(yīng)系統(tǒng),；配有兆聲清洗,，兆聲頻率280-950khz可選，晶片清洗臺(tái),，功率連續(xù)可調(diào),；可配置滾刷刷洗；
太陽能光伏離網(wǎng)發(fā)電系統(tǒng)主要由太陽能電池板,、蓄電池,、控制器、逆變器組成,，大功率系統(tǒng)---時(shí)還需匯流箱,、配電箱等。主要由六部分組成：太陽能模塊,、支架,、太陽能控制器、離網(wǎng)逆變器,、蓄電池和配電箱,。太陽能電池組件連接到太陽能控制器后，首先滿足用戶的負(fù)載,，然后將剩余的電能儲(chǔ)存在蓄電池中,，供夜間和雨天使用。當(dāng)蓄電池沒電時(shí),，大多數(shù)逆變器還可以支持商用電源輸入(或柴油發(fā)電機(jī))作為補(bǔ)充能源,，為負(fù)載供電。
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