氮化鋁真空鍍膜mems真空鍍膜加工平臺(tái)——廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所是廣東省科學(xué)院下屬骨干研究院所之一,，氮化鋁真空鍍膜實(shí)驗(yàn)室，主要-半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的應(yīng)用技術(shù)研究,，-重大技術(shù)應(yīng)用的基礎(chǔ)研究,，立足于廣東省經(jīng)濟(jì)社會(huì)發(fā)展的實(shí)際需要，從事電子信息,、半導(dǎo)體領(lǐng)域應(yīng)用基礎(chǔ)性,、關(guān)鍵共性技術(shù)研究，以及行業(yè)應(yīng)用技術(shù)開發(fā),。

真空鍍膜冷水機(jī)的工作原理：

制冷循環(huán)采用逆卡若循環(huán),，該循環(huán)由兩個(gè)等溫過程和兩個(gè)絕熱過程組成；其過程如下：

1等溫過程--液體吸熱氣化形成蒸汽的傳熱與液體汽化潛熱的傳遞平衡關(guān)系式為 q=kt 式中 k--常數(shù) ,，稱為亨利定律,； t --時(shí)間 。

2絕熱壓縮過程--利用蒸氣壓縮來實(shí)現(xiàn)制冷循環(huán)的兩個(gè)不同溫度的中間介質(zhì)的換熱遵循可逆卡諾爾公式 c =-lgr22+h22 式中 r22 --中間介質(zhì)的平均溫度 °c ,， h22 --中間介質(zhì)的溫度 °c ,。

當(dāng) r 22 -1 時(shí)稱做階段或低溫區(qū) ；當(dāng) r 22-2 時(shí)稱做第二階段或高溫區(qū),；兩者之差即代表該階段的溫差或稱焓值,；此溫差的大小取決于兩相物質(zhì)的性質(zhì)及其比容的變化情況而定。

3再加熱的過程--把經(jīng)過絕熱的低溫區(qū)的工質(zhì)重新吸入到高溫區(qū)內(nèi)實(shí)現(xiàn)再加熱的過程稱為回?zé)峄蚰婵ㄈ粞�環(huán),。