氮化鋁真空鍍膜mems真空鍍膜加工平臺——廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所是廣東省科學(xué)院下屬骨干研究院所之一,，主要-半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的應(yīng)用技術(shù)研究,，-重大技術(shù)應(yīng)用的基礎(chǔ)研究，立足于廣東省經(jīng)濟(jì)社會發(fā)展的實(shí)際需要,，從事電子信息,、半導(dǎo)體領(lǐng)域應(yīng)用基礎(chǔ)性、關(guān)鍵共性技術(shù)研究,，以及行業(yè)應(yīng)用技術(shù)開發(fā),。

真空設(shè)備安裝調(diào)試過程中的檢漏步驟如下：

1、了解待檢設(shè)備的結(jié)構(gòu)組成和裝配過程,。掌握設(shè)備的要求,，查明需要進(jìn)行檢漏的重點(diǎn)部位。

2,、根據(jù)所規(guī)定的大允許漏率以及是否需要找漏孔的具-置等要求,，并從經(jīng)濟(jì)、快速,、-等原則出發(fā),，正確選擇好檢漏方法或儀器，準(zhǔn)備好檢漏時所需的輔助設(shè)備后擬定切實(shí)可行的檢漏程序,。

3,、應(yīng)對被檢件進(jìn)行好清潔工作，取出焊渣,、油垢后再按真空衛(wèi)生條件進(jìn)行清潔處理,，并予以烘干。對要求高的小型器件,。清潔處理后可通過真空烘干箱進(jìn)行烘烤,，進(jìn)行清潔處理后不但可以避免漏孔不被污物、油,、有機(jī)溶液等堵塞,，而且也保護(hù)了檢漏儀器。

4,、對所選用的檢漏方法和檢漏設(shè)備進(jìn)行檢漏靈敏度的校準(zhǔn),，并確定檢漏系統(tǒng)的檢漏時間。

5,、若采用真空檢漏法時,，為了提高儀器的靈敏度，應(yīng)盡可能將被檢件抽到較高真空,。

6,、在允許的前提下,，應(yīng)盡可能優(yōu)先應(yīng)用較為經(jīng)濟(jì)和現(xiàn)場具備條件的檢漏方法。

7,、采用-質(zhì)譜檢漏設(shè)備檢漏時,，對于要求檢漏不高的或有大漏產(chǎn)生的被檢件時，在檢漏初期應(yīng)盡量用濃度較低的-氣進(jìn)行檢漏,，然后再進(jìn)行小漏孔的檢漏,，以節(jié)約-氣。

8,、對已檢出的大漏孔及時進(jìn)行修補(bǔ)堵塞后再進(jìn)行小漏孔的檢漏,。

9、對檢出并修補(bǔ)的漏孔進(jìn)行一次復(fù)查以-檢漏結(jié)果達(dá)到要求,。

      真空鍍膜機(jī)撿漏環(huán)節(jié),，氮化鋁真空鍍膜工藝，是從設(shè)計,、制造,、調(diào)試、使用等,，各個環(huán)節(jié)都需要進(jìn)行的步驟,，確一不可。