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在精密機(jī)械零部件加工過(guò)程中,，加工機(jī)械設(shè)備制造，為了提高氣浮導(dǎo)軌的運(yùn)動(dòng)性能,，可以采用以下三種方法,。首先是提高導(dǎo)軌在承載方向上的剛度,，導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)上采用閉式導(dǎo)軌，這比單面可提高剛度2倍,；減小氣浮間隙,；并增大力封閉，氣源需穩(wěn)壓供氣,、清潔供氣,，機(jī)械加工，減小可能發(fā)生的振蕩因素,，在供氣回路中要設(shè)計(jì)載荷補(bǔ)償機(jī)構(gòu)及自動(dòng)調(diào)壓裝置使氣浮間隙變化很小,，壓力彈簧和滾輪控制氣浮間隙；或者合理布局氣墊讓其自動(dòng)平衡調(diào)整,。
其次可以提高導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)時(shí)的阻尼力,，氣墊的孔越多阻尼力越大，剛性也越大,，如果采用粉末治金多孔材料作為氣墊,，機(jī)械銑床加工招聘，用大面積的微孔代替小孔節(jié)流氣墊,，阻尼力會(huì),。在精密機(jī)械零部件加工允許的情況下，可以采用氣-液雙相潤(rùn)滑,，由于導(dǎo)軌接觸面上有油膜存在而增加了阻尼力,，還可以采用半氣浮導(dǎo)軌的結(jié)構(gòu)形式，坐標(biāo)機(jī)為氣浮導(dǎo)軌和機(jī)械導(dǎo)軌相結(jié)合的形式,，利用了兩種導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)特性的優(yōu)點(diǎn),，不僅提高了抗端動(dòng)的能力，又保持了氣浮導(dǎo)軌間隙恒定,，且增加了導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)的阻尼力,，從而提高了導(dǎo)軌的運(yùn)動(dòng)性能,。
科技的發(fā)展對(duì)精密加工和超精密加工技術(shù)也提出了更高的要求。從大到天體望遠(yuǎn)鏡的透鏡,，小到-集成電路線寬μm要求的微細(xì)工程和微機(jī)械的微納米尺寸零件,，不論體積大小，其高尺寸精度都趨近于納米;零件形狀也日益復(fù)雜化,，各種非球面已是當(dāng)前非常典型的幾何形狀,。微機(jī)械技術(shù)為超精密制造技術(shù)引來(lái)一種嶄新的態(tài)勢(shì)？它的微細(xì)程度使傳統(tǒng)的制造技術(shù)面臨一種新的挑戰(zhàn),，促進(jìn)了各種產(chǎn)品技術(shù)性能的提高,，發(fā)展過(guò)程呈現(xiàn)出螺旋式循環(huán)發(fā)展，尋求機(jī)械加工合作,，直接對(duì)科學(xué)技術(shù)的進(jìn)步和人類文明作出貢獻(xiàn),。對(duì)產(chǎn)品高、小型化,、高-性和-的追求,，使超精密加工技術(shù)得以迅速發(fā)展，現(xiàn)已成為現(xiàn)代制造工業(yè)的重要組成部分,。
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