兆聲清洗是利用兆赫茲級(jí)別的頻超聲波能量去進(jìn)行基材表面亞微米級(jí)顆粒的去除以及化學(xué)反應(yīng),。相比于低頻超聲波空化效應(yīng),兆聲波空化效應(yīng)可清楚更小的顆粒并且大幅降低對(duì)基材的損傷。東方金榮提供多種類型的兆聲系統(tǒng)以用于cmp化學(xué)機(jī)械拋光,、鍵合前清洗、掩膜清洗,、顯影,、去膠、金屬剝離,、濕法刻蝕等多種領(lǐng)域,。 siansonic東方金榮噴淋式兆聲清洗噴頭的特點(diǎn)及優(yōu)勢(shì)單點(diǎn)噴淋式兆聲清洗,相比傳統(tǒng)槽式清洗,,可解決清洗液二次污染問題,。極低的超聲空化效應(yīng),不會(huì)對(duì)器件表面造成損傷清洗精度,,可去除物體表面0.2微米的污漬顆粒非金屬腐材質(zhì),,適應(yīng)各種酸堿及石英或藍(lán)寶石匹配層技術(shù),無雜質(zhì)脫落到器件上的風(fēng)險(xiǎn)的換能器貼合技術(shù),,更高的穩(wěn)定性和耐久性
第三代半導(dǎo)體技術(shù)的兆聲發(fā)生器,,實(shí)現(xiàn)數(shù)字化高頻大功率驅(qū)動(dòng)。
單點(diǎn)噴淋式兆聲清洗,,無二次污染問題頻超聲波,,頻率可達(dá)3mhz清洗精度高,可去除0.2微米的污漬顆粒-的聲空化效應(yīng),,兆聲清洗機(jī),,不損傷器件表面無金屬材質(zhì)接觸液體,無導(dǎo)電物質(zhì)脫落風(fēng)險(xiǎn)腐性,,可耐各種酸堿溶液及,。
噴淋式兆聲噴頭是將兆聲換能器嵌入到噴嘴中,以噴嘴的形式對(duì)被清洗物如晶圓等進(jìn)行清洗,。它的優(yōu)勢(shì)在于可點(diǎn)對(duì)點(diǎn)的直接對(duì)被清洗物表面進(jìn)行處理,,可讓聲能焦點(diǎn)直接處于被清洗物表面,然后再通過運(yùn)動(dòng)來實(shí)現(xiàn)整個(gè)二維平面的清洗,。這種方式相比于槽式兆聲清洗,,其兆聲轉(zhuǎn)換效率更高,兆聲清洗機(jī)報(bào)價(jià),,并且避免了槽式兆聲清洗中聲場(chǎng)強(qiáng)度隨水槽液體-變化而變化的問題,,使被清洗物如晶圓表面獲得的聲能更均勻。另外,,兆聲清洗機(jī)公司,,由于是噴嘴噴淋的方式,,也不會(huì)發(fā)生像槽式清洗中水槽中的殘留的臟污對(duì)被清洗物造成二次污染的問題。
清洗介質(zhì):采用超聲波清洗,,一般有兩類清洗劑即化學(xué)溶劑和水基清洗劑,。清洗介質(zhì)的化學(xué)作用可以加速超聲波清洗效果,超聲波清洗是物理作用,,兩種作用相結(jié)合,,依對(duì)物件進(jìn)行充分、的清洗,。功率密度:超聲波的功率密度越高,空化效果越強(qiáng),,兆聲清洗機(jī),,速度越快,清洗效果越好,,但對(duì)于精密的表面光潔度甚高的物件,,采用長(zhǎng)時(shí)間的高功率密度清洗會(huì)對(duì)物件表面產(chǎn)生空化、腐蝕,。超聲頻率:適用于工件粗,、臟、初洗,,頻率高則超聲波方向性強(qiáng),,適合于精細(xì)的物件清洗。清洗高溫:一般來說,,超聲波在30℃~40℃時(shí)的空化效果,,清洗劑也不是溫度越高,作用越-,,有可能會(huì)高溫失效,,通常超聲波在超過85°c時(shí),清洗效果已變差,。所以實(shí)際應(yīng)用超聲波清洗時(shí),,采用50°c~70°c的工作溫度。
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