兆聲清洗是利用兆赫茲級(jí)別的頻超聲波能量去進(jìn)行基材表面亞微米級(jí)顆粒的去除以及化學(xué)反應(yīng),。相比于低頻超聲波空化效應(yīng)，兆聲波空化效應(yīng)可清楚更小的顆粒并且大幅降低對(duì)基材的損傷,。東方金榮提供多種類型的兆聲系統(tǒng)以用于cmp化學(xué)機(jī)械拋光,、鍵合前清洗,、掩膜清洗、顯影,、去膠,、金屬剝離、濕法刻蝕等多種領(lǐng)域,。 siansonic東方金榮噴淋式兆聲清洗噴頭的特點(diǎn)及優(yōu)勢(shì)單點(diǎn)噴淋式兆聲清洗,，相比傳統(tǒng)槽式清洗，可解決清洗液二次污染問(wèn)題,。極低的超聲空化效應(yīng),，不會(huì)對(duì)器件表面造成損傷清洗精度，可去除物體表面0.2微米的污漬顆粒非金屬腐材質(zhì),，適應(yīng)各種酸堿及石英或藍(lán)寶石匹配層技術(shù),，無(wú)雜質(zhì)脫落到器件上的風(fēng)險(xiǎn)的換能器貼合技術(shù),，更高的穩(wěn)定性和耐久性
第三代半導(dǎo)體技術(shù)的兆聲發(fā)生器，兆聲清洗機(jī)報(bào)價(jià),，實(shí)現(xiàn)數(shù)字化高頻大功率驅(qū)動(dòng),。
技術(shù)早出現(xiàn)于20世紀(jì)30年代早期，當(dāng)時(shí),，位于美國(guó)新澤西州的美國(guó)無(wú)線電公司的一個(gè)實(shí)驗(yàn)室中的-嘗-自制的簡(jiǎn)陋超聲波清洗系統(tǒng)清洗某些物體,，但試驗(yàn)未獲成功。在此基礎(chǔ)上,，超聲波清洗技術(shù)在20世紀(jì)50年代有了很大的發(fā)展,，當(dāng)時(shí)使用的超聲波工作頻率在20～ 40 khz之間。該范圍內(nèi)的超聲波被應(yīng)用在數(shù)千種不同的工作場(chǎng)合下,，其中許多是別的清洗手段不能-發(fā)揮作用的場(chǎng)合,。超聲波可以對(duì)工件施加非常-的能量，尤其適用于清除牢固地附著在基底上的污垢,。然而在某些情況下，北京兆聲清洗機(jī),，超聲波-的能量也會(huì)損傷粘有污垢而性質(zhì)脆弱的基底材料,。在過(guò)去的十幾年中，超聲波領(lǐng)域中出現(xiàn)了一些技術(shù)-,，提高了清除敏感基底上的污物的安全系數(shù),。在此期間，超聲波技術(shù),，兆聲清洗機(jī)多少錢,，-是中高頻超聲波清洗技術(shù)有了新的發(fā)展，兆聲清洗機(jī)價(jià)格,，并成為行業(yè)的亮點(diǎn),。近年來(lái)，人們發(fā)現(xiàn)用兆聲波(根據(jù)超聲波的頻率不同,，把40 khz及其以下的稱為常規(guī)或低頻超聲波,，把1 000 khz以上的稱為高頻超聲波，又稱兆頻超聲波,，簡(jiǎn)稱兆聲波)清洗可以去除掉半導(dǎo)體材料表面上的超細(xì)污垢微粒,，并且不會(huì)損傷基底材料的表面。目前這項(xiàng)技術(shù)已經(jīng)得到了很快的普及,。
一般來(lái)說(shuō),，清洗的工藝流程依被清洗物體清洗的難易程度及清洗數(shù)量而決定。主要清洗流程如下:1)熱浸洗或噴洗:目的是將工件上的污染物軟化,、分離,、溶解,，并減輕下道清洗工序的負(fù)荷。2)超聲波清洗:利用超聲波產(chǎn)生的-空化作用及振動(dòng)將工件表面的污垢剝離脫落,，同時(shí)還可將油脂性的污物分解,、乳化。3)冷漂洗:利用流動(dòng)的凈水將已脫落但尚浮在工件表面上污物沖洗干凈,。4)超聲波漂洗:溶劑為干凈的清水,，工件浸入后，利用超聲波將浮在工件各邊,、角及孔隙處的污物清洗干凈,。5)熱凈水及冷凈水漂洗:進(jìn)一步去除懸附在工件表面上的污物微粒。6)熱風(fēng)烘干:利用一定的溫度和風(fēng)速,，使零件表面快速干燥,。
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