掃描電子顯微鏡是一種多功能的儀器,，具有很多的性能,，是用途為廣泛的一種儀器，它可以進行如下基本分析： 

 (1)三維形貌的觀察和分析,； 

(2)在觀察形貌的同時,，進行微區(qū)的成分分析。 

 觀察納米材料,。所謂納米材料就是指組成材料的顆�,；蛭⒕С叽缭�0.1～100 nm范圍內(nèi)，在保持表面潔凈的條件下加壓成型而得到的固體材料,。納米材料具有許多與晶態(tài),、非晶態(tài)不同的、的物理化學性質(zhì),。納米材料有著廣闊的發(fā)展前景,，將成為未來材料研究的重點方向。掃描電子顯微鏡的一個重要特點就是具有-的分辨率,，現(xiàn)已廣泛用于觀察納米材料,。

電子能量損失光譜儀通常在光譜模式和圖像模式上操作，這樣就可以隔離或者排除特定的散射電子束,。由于在許多圖像中,，非彈性散射電子束包含了許多操作者不關(guān)心的信息，從而降低了有用信息的-測性,。這樣,，電子能量損失光譜學技術(shù)可以通過排除不需要的電子束有效提高亮場觀測圖像與暗場觀測圖像的對比度。

晶體結(jié)構(gòu)可以通過高分辨率透射電子顯微鏡來研究,，這種技術(shù)也被稱為相襯顯微技術(shù),。當使用場發(fā)射電子源的時候，觀測圖像通過由電子與樣品相互作用導致的電子波相位的差別重構(gòu)得出,。然而由于圖像還依賴于射在屏幕上的電子的數(shù)量,，對相襯圖像的識別復雜。然而,，這種成像方法的優(yōu)勢在于可以提供有關(guān)樣品的更多信息,。