潔凈室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣,、菌等之污染物排除,，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力,、氣流速度與氣流分布,、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,，凈化空調施工,，而所給予-設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,，其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度,、溫濕度及壓力等性能之特性。

 液體制劑-車間的凈化參數(shù)1,、換氣次數(shù)：100000級***15次,；10000級***20次；1000***30次,。壓差：主車間對相鄰房間***5pa平均風速：10級,、100級0.3－0.5m/s；溫度 冬季>;16℃,；夏季 <26℃,；波動±2℃。 2,、溫度45－65%,；-車間濕度在50%左右為宜；電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電,。噪聲≤65dba,；新風補充量是總送風量的10%－30%；照度300lx

潔凈室中的溫濕度控制：

 潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定,，但在滿足工藝要求的條件下,，應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,，出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢,。

 具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看,，由于加工精度越來越精細,，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在-集成電路生產(chǎn)的光刻-工藝中,，凈化空調設計,，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片,，溫度上升1度,，就引起了0.24um線性膨脹,，所以必須有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低,，因為人出汗以后,，對產(chǎn)品將有污染，-是怕鈉的半導體車間,，這種車間不宜超過25度,。

 濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55%時,，冷卻水管壁上會結露,，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故,。相對濕度在50%時易生銹,。此外，懷化凈化空調,，濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面耐難以清除,。相對濕度越高，粘附的難去掉,，但當相對濕度低于30%時，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,，同時大量半導體器件容易發(fā)生擊穿,。對于硅片生產(chǎn)蕞佳溫度范圍為35—45%。