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氣體傳感器闡述sno2薄膜氣敏器件因具有-的穩(wěn)定性、能在較低的溫度下工作,、檢驗(yàn)氣體種類多、工藝成熟等優(yōu)點(diǎn),，是目前的主 品。此外,，fe2o3也是目前廣泛應(yīng)用和研究的材料,。除了傳統(tǒng)的sno、sno2和fe2o3三大類外,，目前又研究開發(fā)了一批新型材料,，包括單一金屬氧化物材料、復(fù)合金屬氧化物材料以及混合金屬氧化物材料,。這些新型材料的研究和開發(fā),，大大提高了氣體傳感器的特性和應(yīng)用范圍。


氣體傳感器類型4,、穩(wěn)定性實(shí)際應(yīng)用中,，存在ut隨時(shí)間漂移的特性，為此,，采用在hcl氣氛中生長一層sio2絕緣層,，可以----ut的漂移。除氫氣外,，其他氣體不能通過鈀柵,，制作其他氣體的pd—mosfet氣敏傳感器要采用一定措施，如制作co敏mosfet時(shí)要在鈀柵上制作約20nm的小孔,，就可以允許co氣體通過,。另外，由于pd—mosfet對氫氣有較高的靈敏度,，而對co的靈敏度卻較低,，為此可在鈀柵上蒸發(fā)一層厚約20nm的鋁作保護(hù)層，阻止氫氣通過,。鈀對氨氣分解反應(yīng)的催化作用較弱,，為此，要先在sio2絕緣層上沉淀一層活性金屬,，如pt、ir,、la等,。再制作鈀柵,，可制成氨氣敏mosfet。


氣體傳感器定做根據(jù)單一的紅外吸收峰位置只能判定氣體分子中有什么基團(tuán),，---判定氣體種類需要看氣體在中紅外區(qū)所有的吸收峰位置即氣體的紅外吸收指紋,。但在已知環(huán)境條件下，根據(jù)單一紅外吸收峰的位置可以大致判定氣體的種類,。由于在零下273攝氏度即 零度以上的一切物質(zhì)都會(huì)產(chǎn)生紅外幅射,，紅外幅射與溫度正相關(guān)，因此,，同催化元件一樣,，為消除環(huán)境溫度變化引起的紅外幅射的變化，紅外氣體傳感器中會(huì)由一對紅外探測器構(gòu)成,。一個(gè)完整的紅外氣體傳感器由紅外光源,、光學(xué)腔體、紅外探測器和 調(diào)理電路構(gòu)成,。



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