電容傳感器是一種通過(guò)簡(jiǎn)單的機(jī)械結(jié)構(gòu)就能實(shí)現(xiàn)低功耗,、---的動(dòng)態(tài)性能以及非接觸式測(cè)量等特點(diǎn)的傳感器,。電容傳感器能有效檢測(cè)到微米級(jí)的位移變化，具有非常高的精度,，應(yīng)用前景廣泛,。目前主要廣泛應(yīng)用于地震災(zāi)害監(jiān)測(cè),、航空航天及工業(yè)生產(chǎn)中對(duì)微小位移、液位,、壓力,、重力等參數(shù)的測(cè)量。

電容位移傳感器,，英文名稱為capacitive type transducer,，是一種將其他量的變換以電容的變化體現(xiàn)出來(lái)的儀器。其主要由上下兩電極,、絕緣體,、襯底構(gòu)成，電容位移傳感器設(shè)計(jì),，在壓力作用下,，薄膜產(chǎn)生一定的形變，上 下級(jí)間距離發(fā)生變化,，導(dǎo)---容變化，但電容并不隨極間距離的變化而線性變化,，其還需測(cè)量電路對(duì)輸出電容進(jìn)行一定的非線性補(bǔ)償,。