用---氣作為---質譜檢漏氣體的原因

選擇示漏氣體(示蹤氣體的原則是：它在空氣中及真空系統(tǒng)中的含量低；檢漏儀對示漏氣體的靈敏度高,；它不會對人員,、環(huán)境、被檢件及檢漏儀造成污染,、傷害和安全---,；價格低。

質譜檢漏儀通常選擇---氣作示蹤氣體,，電池---檢漏設備保養(yǎng),，主要原因如下：

1、---在空氣中及真空系統(tǒng)殘余氣體中的含量極1少在空氣中約含5.2ppm,，在材料出氣中也很少,，因此本底壓力小，輸出的本底電流也小,。正因為本底小,，由某些原因引起本底的波動，亦即本底噪聲也就小,，因此微小漏率也就能反應出來,，電池---檢漏設備定制，靈敏度高,。

2,、---的小相對分子為4，易于穿過漏孔,。這樣,，---較除氫以外的其他氣體通過同一漏孔的漏率就大,，容易發(fā)現(xiàn)，電池---檢漏設備,，靈敏度高,。

3、---是惰性氣體,，不與被檢件器壁起化學反應,，不會污染被檢件，使用安全,。

4,、在---兩側的是氫質荷比為2和雙電荷原子碳質荷比為6，質荷比都與---相差較大,。這樣,，它們在分析器中的偏轉半徑相差也大，容易分開,，定標找---峰時,，不易受其他離子的干擾，因此就降低了對分析器制造精度的要求,，易于加工,。同時，分析器出口電極及離子源加速極的隙縫也可以加大,，使更多的---離子通過,，提高了儀器靈敏度。

5,、---在被檢件及真空系統(tǒng)中不易被吸附,。這樣檢出一個漏孔可以使---信號迅速消失以便繼續(xù)進行檢漏，提高了儀器的檢漏效率,。

6.氫氣有些性能如小,、易通過漏孔比---還好，然而由于氫一方面有易1爆危險,，另一方面在油擴散泵中,，由于油受熱裂解會產(chǎn)生大量的碳和氫，使氫本底-且波動大,，以致靈敏度大-低,，所以很少采用。

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