產(chǎn)品名稱
| zhd-300高真空電阻蒸發(fā)鍍膜機 |
| 鍍膜方式 | 多源蒸發(fā)鍍膜 |
| 真空腔室結(jié)構(gòu) | 玻璃鐘罩+不銹鋼底座 |
| 真空腔室尺寸 | φ300mm×h360mm |
| 真空獲得系統(tǒng) | “渦輪分子泵+直聯(lián)旋片泵”準無油真空機組 |
| -真空 | 8.0×10-5pa |
| 蒸發(fā)電極及蒸發(fā)電源 | 2組蒸發(fā)源,，1～2kw蒸發(fā)電源； |
| 可鍍膜尺寸 | φ120mm |
| 保護系統(tǒng) | 對泵,、電極等缺水,，過流過壓，斷路等異常情況進行 并執(zhí)行相應保護措施,； |
| 選購件 | 基片臺加熱系統(tǒng),、循環(huán)水機、石英晶振膜厚控制儀等,； |
| 占地面積 | 長×寬：1200×800mm |
| 總功率 | ≤3.2kw |
欄目頁面:鍍膜機
來源網(wǎng)址:型號:jx163590小型熱蒸發(fā)鍍膜機ecopiaap-mte1
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ecopia科研用小型熱蒸發(fā)鍍膜機 - 極-
型號：ap-mte1
產(chǎn)地：韓國進口
儀器特點：
1/ 沉積材料：金屬；
2/ 膜厚均勻性：≤ &plun; 5 % (4英寸基底),；
3/ 沉積方式：熱蒸發(fā)舟,；
4/ -真空：5.0 x 10 -6 torr；
技術規(guī)格：
1/ 樣品尺寸：4英寸,；
2/ 基底旋轉(zhuǎn)：0~10rpm,；
3/ 不銹鋼腔體，id250 x h300 mm,；
4/ 真空泵：機械泵,，150l/min；擴散泵,，215l/sec,；
5/ 薄膜厚度監(jiān)控：石英振蕩傳感器實時厚度控制；
6/ 厚度精度：0.5%,；
7/ 熱蒸發(fā)源：4英寸熱蒸發(fā)舟,，交流電源,；
欄目頁面:鍍膜機來源網(wǎng)址:小型熱蒸發(fā)鍍膜機ecopiaap-mte1
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