真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子，降低真空室內(nèi)的氣體壓力,，使之達(dá)到要求的真空度,。概括地講從-到真空有一個(gè)很大的范圍，

蒸發(fā)離子泵：泵內(nèi)被電離的氣體吸附在以間斷或連續(xù)方式升華或蒸發(fā)而覆在泵內(nèi)壁的吸氣材料上,，以實(shí)現(xiàn)抽氣的一種真空泵,。臥式泵的進(jìn)氣口在上，排氣口在下,。有時(shí)為了真空系統(tǒng)管道安裝連接方便,，液環(huán)真空泵，可將排氣口從水平方向接出,，即進(jìn),、排氣方向是相互垂直的。

有的真空泵不能在-壓下工作,，需要預(yù)真空,；有的真空泵出口壓強(qiáng)低于-壓，需要前級(jí)泵,，液環(huán)式真空泵,，故都需要把泵組合起來使用。真空泵與系統(tǒng)的連接管道應(yīng)密封-,，對(duì)小真空泵可采用金屬管路連接密封墊采用耐油橡膠,，對(duì)小真空泵可采用真空膠管連接,，結(jié)構(gòu)緊湊，泵的轉(zhuǎn)數(shù)較高,，一般可與電動(dòng)機(jī)直聯(lián),，小型真空泵，無須減速裝置,。故用小的結(jié)構(gòu)尺寸,，可以獲得大的排氣量，占地面積也小,。