水準(zhǔn)儀是在17～18世紀(jì)發(fā)明了望遠(yuǎn)鏡和水準(zhǔn)器后出現(xiàn)的,。20世紀(jì)初,，在制出內(nèi)調(diào)焦望遠(yuǎn)鏡和符合水準(zhǔn)器的基礎(chǔ)上生產(chǎn)出微傾水準(zhǔn)儀,。20世紀(jì)50年代初出現(xiàn)了自動安平水準(zhǔn)儀；60年代研制出激光水準(zhǔn)儀,；90年代出現(xiàn)電子水準(zhǔn)儀或數(shù)字水準(zhǔn)儀,。

  數(shù)字水準(zhǔn)儀是由光學(xué)機(jī)械部分和電子設(shè)備組成，水準(zhǔn)儀,，其誤差除由以上兩項(xiàng)單獨(dú)所產(chǎn)生的而外,，還包括二者組合產(chǎn)生的誤差。其中光學(xué)機(jī)械部分產(chǎn)生的誤差已被大家所熟知,。主要包括a,、圓水準(zhǔn)器誤差;b、調(diào)焦透鏡運(yùn)行誤差;c,、豎軸傾斜引起的視準(zhǔn)軸誤差;d,、自動補(bǔ)償器的補(bǔ)償誤差。以下主要討論電子設(shè)備和二者組合所產(chǎn)生的誤差,。

  電視準(zhǔn)軸(i角)的誤差對水準(zhǔn)測量的影響理論上與光學(xué)水準(zhǔn)儀i角誤差相同,，但電視準(zhǔn)軸(i角)在數(shù)字水準(zhǔn)儀中又缺少象光學(xué)視準(zhǔn)軸(i角)那樣的標(biāo)定水平視線的性質(zhì)。然而電視準(zhǔn)軸(i角)對水準(zhǔn)測量的精度的影響是肯定的,，激光水準(zhǔn)儀,，而且它隨外界條件的變化而變化。盡管可以用前后視距等長加以減弱,，微傾水準(zhǔn)儀,，數(shù)字水準(zhǔn)儀也可由機(jī)內(nèi)設(shè)置的程序自動改正，然而外條件隨時在變化,，隨時測定i角而加以改正不僅影響作業(yè)效率,，而且改正數(shù)也不是可以線性模擬的。