在激光切割過程中,，產(chǎn)生焦點(diǎn)和被加工對象表面之間相對位置發(fā)生變化的因素有很多，有被加工工件表面凸凹不平,、工件裝夾方式,、機(jī)床的幾何誤差以及機(jī)床在負(fù)載力下的變形、工件在加工過程中的熱變形等都會造成激光焦點(diǎn)位置和理想給定位置編程位置發(fā)生偏差,。有些誤差如機(jī)床的幾何誤差具有規(guī)律性,，這可以通過定量補(bǔ)償方法進(jìn)行補(bǔ)償,，但有些誤差為隨機(jī)誤差，只能通過在線檢測和控制來消除,，這些誤差是：

1,、工件幾何誤差

激光切割的對象為板材或覆蓋件型零件，由于各種原因的影響,，使加工對象表---有起伏不平,，且在切割過程中的熱效應(yīng)的影響也會產(chǎn)生薄板零件的表面變形，對于激光加工,，覆蓋件在壓制成型過程中也會因產(chǎn)生表面的不平,，所有這些，都會產(chǎn)生激光焦點(diǎn)與被加工對象表面的位置與理想位置發(fā)生隨機(jī)變化,。

2,、工件裝夾裝置產(chǎn)生的誤差

激光切割加工的工件是放在針狀工作臺上，由于加工誤差,、長時間與工件之間的磨損和激光的,，針床會出現(xiàn)凸凹不平，這種不平也會產(chǎn)生薄鋼板和激光焦點(diǎn)之間的位置的隨機(jī)誤差,。

3,、編程產(chǎn)生的誤差

在激光切割加工過程中，在復(fù)雜曲面上的加工軌跡是通過直線,、圓弧等擬合的，這些擬合曲線和實(shí)際曲線存在一定誤差,，這些誤差使得實(shí)際焦點(diǎn)和加工對象表面的相對位置和理想編程位置產(chǎn)生一定誤差,。而有些示教編程系統(tǒng)也會引入一些偏差。

激光焦點(diǎn)位置檢測與控制是激光切割加工的關(guān)鍵技術(shù)之一,，對于快速切割加工,，焦點(diǎn)位置檢測精度和快速性將直接影響到焦點(diǎn)位置的控制精度和加工，電容傳感器具有檢測靈敏度高,、響應(yīng)快速的優(yōu)點(diǎn),，可以通過計算機(jī)系統(tǒng)的線性化來克服其非線性。

通過特殊的傳感器結(jié)構(gòu)來消除加工過程中產(chǎn)生的等離子云和噴渣對檢測結(jié)果的影響,，從而提高了其在激光切割加工系統(tǒng)中的使用效果,。