拋光墊是化學(xué)機械拋光(cmp)系統(tǒng)的重要組成部分。它具有貯存拋光液,，并把它均勻運送到工件的整個加區(qū)域等作用,。
拋光墊的性能主要由拋光墊的材料種類、材料性能,、表面結(jié)構(gòu)與狀態(tài)以及修整參數(shù)等決定。拋光墊的剪切模量或增大拋光墊的可壓縮性，手機拋光液,，cmp過程材料去除率增大;采用表面合理開槽的拋光墊，可提高材料去除率,，南京拋光液,，降低晶片表面的不均勻性;拋光墊粗糙的表面有利于提高材料去除率。對拋光墊進行適當?shù)男拚梢栽黾訏伖鈮|表面粗糙度,、使材料去除率趨于一致,。與離線修整相比較，在線修整時修整效果比較好,。
拋光粉種類有稀土拋光粉,、金剛石拋光粉(包括多品金剛石微粉、單品金剛石微粉,、納米金剛石微粉),、氧化鋁系列微粉、氧化系列微粉,、鍍衣金剛石
微粉等系列,。
稀土拋光粉
系稀:土拋光粉具有較優(yōu)的化學(xué)與物理性能，所以在i業(yè)制品拋光中獲得了廣泛的應(yīng)用,，如已在各種光學(xué)玻璃器件,、電視機顯像管.光學(xué)眼鏡片、示波管.
平板玻璃,、半導(dǎo)體晶片和金屬精密制品等的拋光,。以法合成.其顆粒晶體結(jié)構(gòu)與天然的carbonado-相似.通過不飽和鍵結(jié)合成多晶體結(jié)構(gòu)。與
單品金剛石相比,，多晶金剛石有更多的晶棱和磨削面,，電拋光液，每條晶棱都具有切削能力,，因此有-的去除率,。多品金剛石具有韌性和自銳性，在拋光過程中,，
磨料在粒徑大小可影響到磨粒的壓強及其切入工件的-,。一般來說 ，在拋光過程中,， 粒徑大的磨粒壓-,，寶石拋光液,，機械去除作用較強，材料去除率較高,。所以
粒徑較大的磨粒容易在拋光表面產(chǎn)生較大的殘留劃痕甚至殘留裂紋;而粒徑較小的磨�,？色@得較好的拋光表面。另外在磨粒直徑相同的情況下,，球形
磨粒比表面不平的磨粒去除效率更高,。
2 ph值調(diào)節(jié)劑
拋光液中常常添加一些化學(xué)試劑用于調(diào)節(jié)拋光液的ph值。以-拋光過程化學(xué)反應(yīng)的進行,�,；瘜W(xué)機械拋光拋光液一 般分為酸性和堿性兩大類。
|
登錄后臺
滇公網(wǎng)安備 53011202000392