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-顯影在拋光夾具上執(zhí)行拋光操作。首先拋光兩條藝術(shù)線條的中間區(qū)域,，然后拋光藝術(shù)線條的兩側(cè),。拋光圓周時，傾斜°-°進行拋光,。注意拋光強度均勻,。

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常見的顯影方法是旋轉(zhuǎn)、噴霧,、浸潤,，然后顯影。硅片用去離子水沖洗后甩干,。顯非-區(qū)的光刻膠由于在-時并未發(fā)生化學反應(yīng),，在顯影時也就不會存在這樣的酸堿中和。