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---顯影小尺寸之顯像分辨率,，更在 ic 制程的進步上,，扮演著 關(guān)鍵的角色。由于光學(xué)上的需要,，此段制程之照明采用偏黃色的可見光,。因此俗稱此區(qū)為 黃光區(qū)。