1,、對(duì)被檢工件充注高壓氮?dú)饣驂嚎s空氣進(jìn)行耐壓強(qiáng)度和大漏氣密性檢驗(yàn),；
2,、對(duì)被檢工件抽真空,；
3,、對(duì)被檢工件充注-氣,；
4,、真空箱法-質(zhì)譜檢測(cè),，自動(dòng)判斷工件漏率合格與不合格,；
5、回收并循環(huán)使用-氣,；
6,、如果-氣浪費(fèi)-,，可以將使用過(guò)程中濃度不合格的-氣進(jìn)行提純
7、plc控制,，觸摸屏操作,，自動(dòng)檢測(cè)。
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-質(zhì)譜檢漏儀一般由質(zhì)譜管，電力柱上開(kāi)關(guān)真空箱-檢漏設(shè)備,，真空系統(tǒng)和電子系統(tǒng)組成,。其中質(zhì)譜管包括離子源，分析器和離子檢測(cè)器; 真空系統(tǒng)一般由分子泵,、機(jī)械泵,、電磁閥和真空計(jì)組成。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并-成束,，以一定能量注入質(zhì)分析器,，
目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。質(zhì)分析器的作用起將各類(lèi)離子按其質(zhì)荷比的不同實(shí)現(xiàn)分離,。
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隨著科技的迅猛發(fā)展，-質(zhì)譜檢儀及其應(yīng)用技術(shù)也在不斷發(fā)展和究善,。各國(guó)的設(shè)備廠商相繼推出了多種類(lèi)烈的-質(zhì)譜檢涮儀,，廣泛應(yīng)用丁航空航天，電力電子,，汽車(chē)等各個(gè)行業(yè),，綜觀較新-質(zhì)譜檢漏儀的性能特點(diǎn)發(fā)現(xiàn)，-質(zhì)譜檢漏儀正向著高靈敏度,、自動(dòng)化,、寬程、等-方向發(fā)展,，這些特點(diǎn)-地滿(mǎn)足了當(dāng)前檢漏應(yīng)用的需求,，也-的推動(dòng)了氮質(zhì)譜檢漏技術(shù)的不斷發(fā)展。-質(zhì)譜檢漏儀的基本原理與結(jié)構(gòu)-質(zhì)譜檢漏儀一般由質(zhì)譜管,，真空系統(tǒng)和電子系統(tǒng)組成,。其中質(zhì)譜管包括離子源，分析器和離子檢測(cè)器; 真空系統(tǒng)一般由分子泵、機(jī)械泵,、電磁閥和真空計(jì)組成,。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并-成束，以一定能量注入質(zhì)分析器,，
目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式,。質(zhì)分析器的作用起將各類(lèi)離子按其質(zhì)荷比的不同實(shí)現(xiàn)分離,。
離子檢測(cè)器的作用是手機(jī)分析器所選定的-離子流并加以放大,，再通過(guò)比對(duì)運(yùn)算，電力鑄鋁件真空箱-檢漏設(shè)備,，得出泄漏率
真空系統(tǒng)的作用是獲取質(zhì)譜過(guò)程所需的真空,，同時(shí)完成被檢件的抽空和-氣的引入。真空系統(tǒng)一般由分子泵,、機(jī)械泵,、電磁閥和真空計(jì)組成組成。按照真空系統(tǒng)的不同結(jié)構(gòu),，檢漏儀分為常規(guī)系統(tǒng)和逆擴(kuò)散兩種,。常規(guī)系統(tǒng)多用于早期的-質(zhì)譜檢漏儀，該種檢漏儀的被檢件與高真空部分直接相通,，由被檢件泄入的氮?dú)馐紫鹊竭_(dá)質(zhì)譜管被檢到,，因而具有較高的靈敏度，但是會(huì)對(duì)質(zhì)譜管有污染,。逆擴(kuò)散系統(tǒng)檢漏儀與常規(guī)系統(tǒng)相比,，-檢漏設(shè)備，被檢件只與低真空相通,，因此只需將被檢工件抽至低真空就能進(jìn)行檢漏,，-氣是逆擴(kuò)散到質(zhì)譜管，不會(huì)對(duì)系統(tǒng)有污染,，因此被廣泛采用,，已成為市場(chǎng)的主流的產(chǎn)品。
機(jī)械泵的工作方式不一樣,，空調(diào)換熱器真空箱-檢漏設(shè)備,，分為干泵檢漏儀和油泵檢漏儀，油泵工作會(huì)有油霧排出,，污染工作環(huán)境,，干泵沒(méi)有油霧排出對(duì)工作環(huán)境沒(méi)有影響。在半導(dǎo)體潔凈車(chē)間都是使用干泵檢漏儀,。
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