鎢-鈦w-ti膜以及以鎢-鈦w-ti為基的合金膜是高溫合金膜,，具有一系列的優(yōu)良性能,。鎢具有高熔點、高強度和低的熱膨脹系數等性能,，w/ ti 合金具有低的電阻系數,、---的熱穩(wěn)定性能,。如各種器件都需要起到導電作用的金屬布線,，例如al 、cu 和ag 等已經被廣泛的應用和研究,。但是布線金屬本身易 氧化,、易與周圍的環(huán)境發(fā)生反應，與介質層的粘結性差,，易擴散進入si 與sio2 等器件的襯底材料中,，并且在較低的溫度下會形成金屬與si 的化合物， 充當了雜質的角色,，使器件的性能大幅度下降,。

在的八個元素中，我們知道,，除了白銀以外計價以千克計算,，其余都是以克為計算單位，而且需保留小數點后至少二位數,，市場價除白銀在萬元/千克以內,，銀合金靶材報價，其余少則幾萬元,，銀合金靶材廠家,，多則幾十萬元每千克，甚至像銠出現過百萬元以上每千克的價格,，所以之貴,，真是名副其實，-,。

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