-質(zhì)譜檢漏常見問題

-質(zhì)譜檢漏儀是現(xiàn)在比較常用的檢測(cè)儀器,，那么在使用過程中我們又遇到哪些問題呢？今天科儀的小編就和大家來一起總結(jié)一下,！

一,、為什么用-氣作為示蹤氣體？其他氣體可以嗎,？1在空氣中含量低(只有5 ppm),，環(huán)境本底低

2惰性氣體不易1燃,，不易1爆對(duì)環(huán)境沒有污染,，不與其他物質(zhì)反應(yīng)，可以混合到任意濃度

3-,，可以用在食品工業(yè)

4在質(zhì)譜儀譜圖中易于與其他物質(zhì)區(qū)分

5比空氣輕,，運(yùn)動(dòng)速度快

6氣體分子很小，可以穿過微小的泄漏孔

7其它氣體也可以

二,、噴-檢漏的注意事項(xiàng),。

1被測(cè)系統(tǒng)應(yīng)盡量清潔，干燥,，無油

2如果測(cè)量條件發(fā)生變化溫度,，需要重新對(duì)檢漏儀做內(nèi)部較準(zhǔn)

3-氣比空氣輕，噴-法檢漏應(yīng)注意方向

4盡量不要使用密封脂油脂會(huì)大量吸附-氣

5不要向環(huán)境釋放大量-氣

6真實(shí)的漏率信號(hào)應(yīng)當(dāng)是快速上升的信號(hào)，相對(duì)緩慢下降的信號(hào)

三,、漏率leak rate

在已知漏泄處兩側(cè)壓差的情況下,，單位時(shí)間內(nèi)流過漏泄處的給定溫度的干燥氣體量。

注：采用國際單位制時(shí),，漏率單位為：pa?m3/s,。

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用-氣作為-質(zhì)譜檢漏氣體的原因

選擇示漏氣體(示蹤氣體的原則是：它在空氣中及真空系統(tǒng)中的含量低,；檢漏儀對(duì)示漏氣體的靈敏度高,；它不會(huì)對(duì)人員、環(huán)境,、被檢件及檢漏儀造成污染,、傷害和安全-；價(jià)格低,。

質(zhì)譜檢漏儀通常選擇-氣作示蹤氣體,，主要原因如下：

1、-在空氣中及真空系統(tǒng)殘余氣體中的含量極1少在空氣中約含5.2ppm,，在材料出氣中也很少,，因此本底壓力小，輸出的本底電流也小,。正因?yàn)楸镜仔�,，由某些原因引起本底的波�?dòng)，亦即本底噪聲也就小,，因此微小漏率也就能反應(yīng)出來,，靈敏度高。

2,、-的小相對(duì)分子為4,，易于穿過漏孔。這樣,，-較除氫以外的其他氣體通過同一漏孔的漏率就大,，容易發(fā)現(xiàn)，靈敏度高,。

3,、-是惰性氣體,，不與被檢件器壁起化學(xué)反應(yīng)，不會(huì)污染被檢件,，使用安全,。

4、在-兩側(cè)的是氫質(zhì)荷比為2和雙電荷原子碳質(zhì)荷比為6,，質(zhì)荷比都與-相差較大,。這樣，它們?cè)诜治銎髦械钠�轉(zhuǎn)半徑相差也大,，空調(diào)換熱器真空箱-檢漏設(shè)備,，容易分開，定標(biāo)找-峰時(shí),，不易受其他離子的干擾,，因此就降低了對(duì)分析器制造精度的要求，易于加工,。同時(shí),，分析器出口電極及離子源加速極的隙縫也可以加大，使更多的-離子通過,，提高了儀器靈敏度,。

5、-在被檢件及真空系統(tǒng)中不易被吸附,。這樣檢出一個(gè)漏孔可以使-信號(hào)迅速消失以便繼續(xù)進(jìn)行檢漏,，提高了儀器的檢漏效率。

6.氫氣有些性能如小,、易通過漏孔比-還好,，然而由于氫一方面有易1爆危險(xiǎn)，另一方面在油擴(kuò)散泵中,，由于油受熱裂解會(huì)產(chǎn)生大量的碳和氫,，使氫本底-且波動(dòng)大，以致靈敏度大-低,，所以很少采用,。

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