經過近半個世紀的努力,,今天的-質譜檢漏儀已告別了四十年代初期的情形。
集中體現在如下幾個方面:
1便攜式:近各國推出的小型便攜式檢漏儀不僅靈敏度高,,而且便于攜帶,,給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便,。
2高壓強下檢漏:檢漏口壓強可-數百帕左右,對檢測大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益,。
3自動化程度高:自動校準-峰,,自動調節(jié)零點,量程自動轉換,,自動數據處理,,可外接打印機。整機由微機控制,,菜單的選擇功能,,一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。
4全無油的干式檢漏:有些生產的檢漏儀,,可采用干式泵,,達到無油蒸氣的效果,為無油系統(tǒng)及芯片等半導體器件的檢漏,,提供了有利條件,。
5檢漏范圍寬:現今生產的四極檢漏儀,范圍很寬,,不僅可檢測-氣,,而且能檢測其它氣體。
分子泵排氣系統(tǒng)取代擴散泵排氣系統(tǒng),,不僅解決了油蒸氣對質譜室的污染問題,,而且對快速啟動儀器和快速停機做出了很大貢獻,。為適應檢漏口壓強的變化和對靈敏度要求的不同,分子泵一般采用多級構造和幾種不同的轉速,。
例如:瑞士,、日本采用改變分子泵轉-達到此目的,且提高檢漏靈敏度,。
另外,,逆擴散檢漏方式,實現了高壓強下檢漏,,也為正壓吸槍檢漏提供了-的條件,。
(1) 漏率校準 校準系統(tǒng)的組成
校準系統(tǒng)由標準漏孔、截止閥及需校準的-質譜檢漏儀組成,。
示值誤差
通電預熱,,待-質譜檢漏儀啟動完成后,采用標準漏孔對-質譜檢漏儀進行校準,,將一經過校準的標準漏孔接入-質譜檢漏儀系統(tǒng),,運行-質譜檢漏儀,待漏率示值穩(wěn)定后,,可以讀出標準漏孔漏率的-質譜檢漏儀示值,,同一標準漏孔測量三次,計算-質譜檢漏儀示值平均值,,從而得到標準漏孔漏率與-質譜檢漏儀示值平均值的示值誤差,。結束后,將其他量級的標準漏孔依次按此方法接入-質譜檢漏儀系統(tǒng)進行測試,,得到-質譜檢漏儀在每一量級下漏率的示值誤差,。
如果測試結果有較大編差,可以考慮-質譜檢漏儀的自校功能,,待完成后,,再用標準漏孔進行測試。
重復性
測量重復性是用實驗標準偏差表征的,,本校準方法采用極差法來表征重復性,。在示值誤差測量中,每一標準漏孔用-質譜檢漏儀重復測量三次,,可用公式(2)計算-質譜檢漏儀在該漏率下的重復性,。
今天和大家分享的是-質譜檢漏儀的校準方法,如您想了解更多的產品信息,,您可撥打圖片上的電話進行咨詢,!
1、關鍵零部件集優(yōu)采購,,-了系統(tǒng)的穩(wěn)定性和-性,;
2,、真空箱內-氣本底抑零,-了檢漏的準確性,、,;
3、特有的清-系統(tǒng),,-地清除超標的-本底,,-檢測的穩(wěn)定性和準確性;
4,、實時監(jiān)測-氣壓力和濃度,,-了工件檢測的精度;
5,、可對使用過程中產生的濃度不合格-氣進行提純,,-降低-氣損耗功能可選;
6,、可同時檢測多工件,,并能按照需求自動判斷出具體的有漏工件;
7,、定制的的密封接頭,,空調換熱器-測漏系統(tǒng),,,,減少誤判。
8,、觸摸屏實時顯示監(jiān)測數據和運行參數,,監(jiān)控一目了然。
9,、電氣控制系統(tǒng)的連鎖保護及聲光報警功能,,-了系統(tǒng)的操作安全及-運行。
今天和大家分享的是-氣檢漏的主要參數及優(yōu)勢,,希望對您有所幫助,!
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