除油不凈的原因有:溶液事先清洗不干凈——除油溶液溫度低,時(shí)間短——除油溶液濃度低,,根據(jù)問題出現(xiàn)的原因,,對(duì)應(yīng)加強(qiáng)溶劑的清洗工作,提升除油溶液溫度到規(guī)范區(qū)間,,加強(qiáng)除油時(shí)間以及提高除油溶液濃度到工藝范圍就可以解決了,,關(guān)鍵是在操作前,作業(yè)師傅或者技術(shù)員對(duì)相關(guān)濃度與溫度以及時(shí)間要有準(zhǔn)確的判斷,,設(shè)定合適的蝕刻工藝,。
工件表面有印跡,主要可能的原因是工件表面殘有殘堿或者殘酸,,和材料產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng),,有了銹跡,一般是除油和光化處理后清潔不-引起的,,因此要加工強(qiáng)水洗工作,,去除殘堿殘酸;另外材料或者工件在腐蝕場(chǎng)合停留過久也會(huì)與空氣中的酸堿產(chǎn)生反應(yīng),,導(dǎo)致印跡的產(chǎn)生,,因此工件經(jīng)過清洗后,要盡快轉(zhuǎn)入防蝕層的制作工序,。
興之揚(yáng)腐蝕不銹鋼網(wǎng)片小編給大家介紹什么是濕式蝕刻技術(shù):
早期的蝕刻技術(shù)是利用特定的溶液與薄膜間所進(jìn)行的化學(xué)反應(yīng)來除薄膜未被光阻覆蓋的部分,,而達(dá)到蝕刻的目的,,這種蝕刻方式也就是所謂的濕式蝕刻,。因?yàn)闈袷轿g刻是利用化學(xué)反應(yīng)來進(jìn)行薄膜的去除,,而化學(xué)反應(yīng)本身不具方向性,因此濕式蝕刻過程為等向性,,一般而言此方式不-定義3微米以下的線寬,,但對(duì)于3微米以上的線寬定義濕式蝕刻仍然為一可選擇采用的技術(shù)。
濕式蝕刻之所以在微電子制作過程中被廣泛的采用乃由于其具有低成本,、高-性,、高產(chǎn)能及-的蝕刻選擇比等優(yōu)點(diǎn)。但相對(duì)于干式蝕刻,,除了無-義較細(xì)的線寬外,,濕式蝕刻仍有以下的缺點(diǎn):1)需花費(fèi)較高成本的反應(yīng)溶液及去離子水;2)化學(xué)-處理時(shí)人員所遭遇的安全問題,;3)光阻附著性問題,;4)氣泡形成及化學(xué)蝕刻液無法完全與晶圓表面接觸所造成的不完全及不均勻的蝕刻。
興之揚(yáng)微孔網(wǎng)片能加工多小的孔,?
對(duì)于加工微孔網(wǎng)片來說,,不了解的人常問我們的問題就是“興之揚(yáng)微孔網(wǎng)能加工多小的孔”。有些客人以為蝕刻可以加工任意大小任何形狀的孔,,其實(shí)并不是這樣,。蝕刻雖然加工的孔比激光和沖壓的孔更精密孔徑更小,但是還是受到材料,,厚度等條件的-,,并不是所有的孔徑都能-加工。
首先我們需要了解一下微孔網(wǎng)蝕刻加工開孔的原理:微孔網(wǎng)一般是金屬材質(zhì),,主要以不銹鋼為主,。蝕刻就是通過絲印或網(wǎng)印的方式,通過-顯影把材料上不需要開孔的部分遮住,,然后用化學(xué)或電化學(xué)方式腐蝕出孔的部分,,后褪去保護(hù)不被腐蝕的外膜,這樣就能獲得所需的微孔網(wǎng)片,。
微孔網(wǎng)能做多小的孔和菲林制圖非常相關(guān),,一般來說,如果菲林能刻0.04mm的孔徑和0.04mm的縫寬,,在此基礎(chǔ)上能夠加工0.05mm的孔,,基本來說真實(shí)蝕刻的孔徑一般是菲林孔徑的1.2倍。
微孔網(wǎng)能加工多小的孔和材料厚度也有關(guān)系,,以垂直開孔為例,,一般的話孔徑會(huì)在厚度的1.2倍,也有能夠達(dá)到1:1的,,也就是多厚的材料加工多大的孔,。如果是開錐形孔,,也叫喇叭孔,在這種情況下,,需要開孔工件的材料厚度可以是開孔孔徑的2倍,。
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