噴淋式蝕刻,、速度快、精度高，適合于有一定批量的生產(chǎn),，生產(chǎn)易于實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化控制,，鋼板腐蝕機(jī)設(shè)備，但是設(shè)備投入大，同時(shí)也不適宜對(duì)異形工件及大型工件的蝕刻,；侵泡式蝕刻設(shè)備投入小，蝕刻化學(xué)蝕刻方便,，使用工件范圍廣,。
工件形狀及大小：
對(duì)于大型工件由于受設(shè)備-,，鋼板腐蝕機(jī)深腐刻圖文字,，采用噴淋式蝕刻難于進(jìn)行，而侵泡式就不會(huì)受工件大小的影響,。工件形狀復(fù)雜,，在噴淋時(shí)有些部位會(huì)出現(xiàn)噴淋不-的情況而影響蝕刻的正常進(jìn)行,，而侵泡式由于是將工件整個(gè)侵泡在蝕刻液中,，只要保持溶液和工件之間的動(dòng)態(tài)，就能--工件的各個(gè)部位都能充滿(mǎn)蝕刻液并進(jìn)行新液與舊液的連續(xù)更換,，使蝕刻能正常進(jìn)行,。
對(duì)于不大的平面或近乎平面的工件如果條件允許，采用噴淋式蝕刻不管是效率或是精度都優(yōu)于侵泡式蝕刻,。所以,，對(duì)于批量大、工件大小適中,、形狀簡(jiǎn)單的平面形狀的工件以采用噴淋式為,；如果工件外形較大，難以采用蝕刻機(jī),，工件形狀復(fù)雜,，批量不大，這式以采用侵泡式為宜,。
或許在很多人看來(lái),，刻蝕技術(shù)并不如光刻機(jī)那般“”，但刻蝕在芯片的加工和生產(chǎn)過(guò)程中同樣不可或缺,�,？涛g機(jī)主要工作是按照前段光刻機(jī)“描繪”出來(lái)的線(xiàn)路來(lái)對(duì)晶片進(jìn)行更深入的微觀雕刻，刻出溝槽或接觸孔,，然后除去表面的光刻膠,，從而形成刻蝕線(xiàn)路圖案。
在芯片制造領(lǐng)域,，光刻機(jī)像是前端,，而蝕刻機(jī)就是后端。光刻機(jī)的作用是把電路圖描繪至覆蓋有光刻膠的硅片上,，而蝕刻機(jī)的作用就是按照光刻機(jī)描繪的電路圖把硅片上其它不需要的光刻膠腐蝕去除,，完成電路圖的雕刻轉(zhuǎn)移至硅片表面,。兩者一個(gè)是設(shè)計(jì)者，一個(gè)是執(zhí)行者,，整個(gè)芯片生產(chǎn)過(guò)程中,，需要重復(fù)使用兩種設(shè)備，直至將完整的電路圖蝕刻到硅晶圓上為止,。
目前,，我國(guó)在蝕刻機(jī)領(lǐng)域已達(dá)到-水平，尤其是中微半導(dǎo)體成功突破研制的5nm蝕刻機(jī)已于其它企業(yè),，而且得到了臺(tái)積電的驗(yàn)證,。真正面臨技術(shù)挑戰(zhàn)，也是被卡脖子的領(lǐng)域是光刻機(jī),。不過(guò)日前中科院-白春禮表示,，已將光刻機(jī)等技術(shù)難度較高的產(chǎn)品列入科研清單，未來(lái)將集中力量對(duì)這些“卡脖子”的技術(shù)進(jìn)行攻關(guān),。相信未來(lái)光刻機(jī)技術(shù)也會(huì)實(shí)現(xiàn)重大突破,。
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