光刻是整個(gè)集成電路制造過程中耗時(shí)長,、難度大的工藝，耗時(shí)占ic制造50%左右,，成本約占ic生產(chǎn)成本的1/3,。光刻膠是光刻過程重要的耗材，光刻膠的對(duì)光刻工藝有著重要影響。
光刻是將圖形由掩膜版上轉(zhuǎn)移到硅片上,，為后續(xù)的刻蝕步驟作準(zhǔn)備,。在光刻過程中，需在硅片上涂一層光刻膠,，經(jīng)紫外線---后,，光刻膠的化學(xué)性質(zhì)發(fā)生變化，干光刻膠多少錢,，在通過顯---,，被---的光刻膠將被去除，從而實(shí)現(xiàn)將電路圖形由掩膜版轉(zhuǎn)移到光刻膠上,。再經(jīng)過刻蝕過程,，實(shí)現(xiàn)電路圖形由光刻膠轉(zhuǎn)移到硅片上。在刻蝕過程中,，光刻膠起防腐蝕的保護(hù)作用,。
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光刻膠一般由4種成分組成:樹脂型聚合物,、光活性物質(zhì),、溶劑和添加劑。樹脂是光刻膠中占比較大的組分,，構(gòu)成光刻膠的基本骨架,，主要決定---后光刻膠的基本性能，包括硬度,、柔韌性,、附著力、耐腐蝕性,、熱穩(wěn)定性等,。光活性物質(zhì)是光刻膠的關(guān)鍵組分，對(duì)光刻膠的感光度,、分辨率等其決定性作用,。
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光刻膠是電子領(lǐng)域微細(xì)圖形加工關(guān)鍵材料之一，是由感光樹脂,、增感劑和溶劑等主要成分組成的對(duì)光敏感的混合液體,。在紫外光、深紫外光,、電子束,、離子束等光照或輻射下，玻璃光刻膠多少錢,，其溶解度發(fā)生變化,，經(jīng)適當(dāng)溶劑處理，溶去可溶性部分,，然后得到所需圖像,。 光刻膠作為技術(shù)門檻---的電子化學(xué)品一直被國際企業(yè)壟斷。 隨著大力研發(fā)和投入,， 國內(nèi)企業(yè)已逐步從低端 pcb 光刻膠發(fā)展至中端半導(dǎo)體光刻膠的量產(chǎn),。
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