靶中毒現(xiàn)象
(1)正離子堆積：靶中毒時，靶面形成一層絕緣膜,，正離子到達(dá)陰極靶面時由于絕緣層的阻擋,，不能直接進(jìn)入陰極靶面，而是堆積在靶面上,，容易產(chǎn)生冷場致弧光放電---打弧,，使陰極濺射無法進(jìn)行下去。2陽極消失：靶中毒時,，接地的真空室壁上也沉積了絕緣膜,，到達(dá)陽極的電子無法進(jìn)入陽極，形成陽極消失現(xiàn)象,。
靶中毒的物理解釋
1一般情況下,，金屬化合物的二次電子發(fā)射系數(shù)比金屬的高，靶中毒后,，靶材表面都是金屬化合物,，在受到離子轟擊之后，釋放的二次電子數(shù)量增加,，提高了空間的導(dǎo)通能力,，降低了等離子體阻抗，導(dǎo)致濺射電壓降低,。從而降低了濺射速率,。一般情況下磁控濺射的濺射電壓在400v-600v之間，當(dāng)發(fā)生靶中毒時，濺射電壓會---降低,。2金屬靶材與化合物靶材本來濺射速率就不一樣,，一般情況下金屬的濺射系數(shù)要比化合物的濺射系數(shù)高，所以靶中毒后濺射速率低,。3反應(yīng)濺射氣體的濺射效率本來就比惰性氣體的濺射效率低,，所以反應(yīng)氣體比例增加后，綜合濺射速率降低,。
靶中毒的解決辦法
1采用中頻電源或射頻電源,。2采用閉環(huán)控制反應(yīng)氣體的通入量。3采用孿生靶4控制鍍膜模式的變換：在鍍膜前,，采集靶中毒的遲滯效應(yīng)曲線,，使進(jìn)氣流量控制在產(chǎn)生靶中毒的，---工藝過程始終處于沉積速率陡降前的模式,。
真空電鍍有什么特性：
a,、真空鍍膜、pvd,、東莞真空電鍍特性
金屬外觀/顏色均勻一致/耐久的表面,，在各種基本的的空氣和直射陽光環(huán)境條件保持---外觀。顏色深韻,、光亮/經(jīng)濟(jì),，可減少清洗和擦亮顏色所必須的時間和成本 對環(huán)境無害，電鍍加工避免化學(xué)中毒/具生物兼容性,。
b,、鍍膜特性
---的附著力–可以折彎90度以上不發(fā)生裂化或者剝落pvd鍍膜持有---附著力和耐久力。其它的技術(shù),，包括電鍍,，噴涂都不能與其相比�,？梢晕g刻出任何能夠---出的設(shè)計圖案/可以使用在內(nèi)裝修或者室外 ,，抗腐蝕。
c,、pvd膜層抵抗力
耐腐蝕,，化學(xué)性能穩(wěn)定/抗酸/在常規(guī)環(huán)境下，塑料真空電鍍,，戶內(nèi)或者戶外,，都，塑料真空電鍍廠家,，---,，不失去光澤并不留下痕跡/正常的使用情況下不會破損,。---/容易清除油漆和筆跡 在---的陽光，咸的濕地和城市環(huán)境下,，都不失去光澤，不氧化,，---,，不脫落和爆裂膜層顏色種類繁多，表面細(xì)膩光滑,，富有金屬光澤,。
d、
真空電鍍高真空離子鍍膜技術(shù)——對人體和生態(tài)環(huán)境真正無害,。
真空電鍍的應(yīng)用領(lǐng)域
真空電鍍技術(shù)在裝飾品方面的應(yīng)用：隨著經(jīng)濟(jì)的發(fā)展和生活水平的提高,，人們喜歡將手表殼、表帶,、服飾,、燈飾、眼鏡架,、室內(nèi)外裝飾件,、五金箱包、手機殼,、手機視屏,、衛(wèi)生潔具、食品包裝等裝飾品精飾得五彩繽紛,。
真空電鍍技術(shù)在平板顯示器中的應(yīng)用：真空電鍍所有各類平板顯示器都要用到各種類型的薄膜,，塑料真空電鍍廠，而且?guī)缀跛蓄愋偷钠桨屣@示器件都需要使用ito膜,，塑料真空電鍍工藝,，真空電鍍以滿足透明電器的要求�,？梢院敛�---的說：沒有薄膜技術(shù)就沒有平板顯示器件,。
真空電鍍技術(shù)在太陽能利用方面的應(yīng)用：當(dāng)需要有效地利用太陽熱能時，真空電鍍就要考慮采用對太陽光線吸收較多,、而對熱輻射等所引起的損耗較小的吸收面,。太陽光譜的峰值大約在波長為2-20?m之間的紅外波段。真空電鍍理想的選擇吸收面是太陽輻射光譜的波段(可見光波段)吸收率(α)為1,，真空電鍍在熱輻射波段(紅外波段)輻射率(ε)為0,。
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