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分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來代替低溫泵,，真空泵油封批發(fā)，尤其是濺射,、刻蝕和lcvd等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵,。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長,。為了提高抽速,，國外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵,，水蒸汽被低溫板捕獲,，其他氣體則由分子泵抽走。真空泵油封服務(wù)熱線

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真空泵排出來的油蒸氣對(duì)環(huán)境的影響如何,。如果環(huán)境不允許有污染,，可以選無油真空泵，或者把油蒸氣排到室外,。⑻真空泵的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿足真空設(shè)備的---真空及工作壓強(qiáng)要求,。如：某真空干燥工藝要求10mmhg的工作真空度，選用的真空泵的---真空度至少要2mmhg,，真空泵油封,，好能達(dá)到1mmhg。通常選擇泵的---真空度要高于真空設(shè)備工作真空度半個(gè)到一個(gè)數(shù)量級(jí),。⑼真空泵的價(jià)格,、運(yùn)轉(zhuǎn)及維修費(fèi)用。真空泵油封服務(wù)熱線

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隨著真空應(yīng)用的發(fā)展，真空泵的種類已發(fā)展了很多種,，其抽速從每秒零點(diǎn)幾升到每秒幾十萬,、數(shù)百萬升。隨著真空技術(shù)在生產(chǎn)和科學(xué)研究領(lǐng)域中對(duì)其應(yīng)用壓強(qiáng)范圍的要求越來越寬,，大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統(tǒng)共同抽氣后才能滿足生產(chǎn)和科學(xué)研究過程的要求,，由于真空應(yīng)用部門所涉及的工作壓力的范圍很寬,，因此任何一種類型的真空泵都不可能完全適用于所有的工作壓力范圍。真空泵油封服務(wù)熱線

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