隨著真空技術在生產和科學研究領域中對其應用壓強范圍的要求越來越寬,，大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統(tǒng)共同抽氣后才能滿足生產和科學研究過程的要求,，由于真空應用部門所涉及的工作壓力的范圍很寬，因此任何一種類型的真空泵都不可能完全適用于所有的工作壓力范圍,，只能根據(jù)不同的工作壓力范圍和不同的工作要求,，使用不同類型的真空泵,。為了使用方便和各種真空工藝過程的需要，有時將各種真空泵按其性能要求組合起來,，以機組型式應用,。

吸氣劑泵：它是一種利用吸氣劑以化學結合方式捕獲氣體的真空泵。吸氣劑通常是以塊狀或沉積新鮮薄膜形式存在的金屬或合金,。升華泵即屬于這種形式,。吸氣劑離子泵：它是使被電離的氣體通過電磁場或電場的作用吸附在有吸氣材料的表面上，以達到抽氣的目的,。它有如下幾種型式,。1蒸發(fā)離子泵：泵內被電離的氣體吸附在以間斷或連續(xù)方式升華或蒸發(fā)而覆在泵內壁的吸氣材料上，以實現(xiàn)抽氣的一種真空泵,。2濺射離子泵：泵內被電離的氣體吸附在由陰極連續(xù)濺射散出來的吸氣材料上,，以實現(xiàn)抽氣目的的一種真空泵。低溫泵：利用低溫表面捕集氣體的真空泵按其真空度可以分為：粗真空,、高真空,、真空三大類。