近年來, 受半導(dǎo)體制造,、液晶注入,、太陽能電池生產(chǎn)、電子器件等新興行業(yè)和薄膜制備,、化工,、制藥等傳統(tǒng)行業(yè)的帶動, 多級羅茨干泵作為裝備之一,, 其研制和生產(chǎn)越來越受到重視,。多級羅茨干泵滿足了ic 裝備制造業(yè)的工作溫度高、長期運轉(zhuǎn)穩(wěn)定,、噪聲低,、維護簡單、清潔無油等眾多要求,, 是很有發(fā)展前景的一種干式真空泵,。但是, 除了加工及裝配要---度高,、加工難度大,、---投入昂貴等制約因素外, 其設(shè)計理論和制造工藝亟待提高,, 尤其包括羅茨型線的---,、加工成本的降低、間隙的確定,、泄漏量的計算,、泵內(nèi)的熱力學(xué)分析、轉(zhuǎn)子表面涂層,、噪聲振動等難點問題,, 制約了多級羅茨干泵研制和生產(chǎn)。
leybold optics ccs 系列50 至 160 對/8 小時視客戶要求而定,,可使用 leybold optics ccs 系列鍍膜機生產(chǎn)一或若干層減反射層,、---或鏡面層以及濾光片。其---的生產(chǎn)能力得益于短抽真空時間以及準確的工序監(jiān)控,,這些尤為該平臺的亮點,。各種類型的 leybold optics ccs 鍍膜機證明了小尺寸和高生產(chǎn)力并非互為獨占的。leybold opttic ccs 系列包括生產(chǎn)解決方案,,萊寶濾芯71431120,,適用于中等產(chǎn)量的標準和離子輔助鍍膜工藝。模塊化設(shè)計,,實現(xiàn)可持續(xù)發(fā)展的解決方案
電子容量,、低溫制冷系統(tǒng)的實施或腔室內(nèi)疏水性鍍膜功能相關(guān)的升級選件可在日后輕松添加至 leybold optics ccs 的基本配置,。因此,客戶可隨著其業(yè)務(wù)增長而選擇擴建其系統(tǒng),。適用于廣泛應(yīng)用的靈活系統(tǒng)
leybold optics ccs 系列提供適用于每種需求選配組件陣列,。有兩種不同的鏡片支架,萊寶濾芯,,自動翻轉(zhuǎn)鏡片支架和適用于不同鏡片直徑的多種標準圓片,,使其適用于廣泛的應(yīng)用,。
經(jīng)過驗證的設(shè)計,,可進行輕松維護所有 leybold optics ccs 組件可輕松觸及,因此維護簡單,。作為所有布勒萊寶光學(xué)設(shè)備的標準,,每臺設(shè)備都可通過遠程軟件工具訪問,輕松地實現(xiàn)離站分析和檢修活動,。---參數(shù)的大量數(shù)據(jù)錄入助力客戶始終獲得鍍膜機狀況的新情況,,萊寶濾芯71417300,并在需要時可共享信息,。
leybold optics ccs 平臺的圓柱形鍍膜腔室可促進輕松維護和保護屏障的快速拆卸清洗,,萊寶濾芯71064773,這又可提供增加設(shè)備運行時間的優(yōu)勢,。
怎樣正確安裝菜寶羅茨泵,?
萊寶羅茨泵需要在純粹的容積水平上運行,且與旋片式真空泵相比,,羅茨泵不具有內(nèi)部壓縮功能,。它可以壓縮排氣壓力。與旋片式真空泵相比,,所有與介質(zhì)接觸的部件都是無油的,,所有適用于羅茨泵的部件也適用于干式真空泵。該產(chǎn)品結(jié)構(gòu)緊湊,,泵速高,。
該羅茨泵在大壓力范圍內(nèi)具有較大的泵速。它可以立即開始工作,。對抽出氣體中的粉塵和水蒸氣不敏感,。羅茨泵的---真空度不僅取決于泵本身的結(jié)構(gòu)和制造精度,還取決于前級泵的---真空度,。為了提高泵的---真空度,,羅茨泵可以串聯(lián)使用。
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