綁定的適用范圍

 技術(shù)上來說表面平整可進(jìn)行金屬化處理的靶材都可以用我司銦焊綁定技術(shù)綁定銅背靶來提高濺射過程的散熱性、提高靶材利用率,。

建議綁定的靶材：

 ito,、sio2、陶瓷脆性靶材及燒結(jié)靶材,；

 錫,、銦等軟金屬靶；

 靶材太薄,、靶材太貴的情況等,。

但下列情況綁定有弊端：

 1.熔點低的靶材，金電解槽設(shè)計,，像銦,、硒等，金屬化的時候可能會變軟變形；

 2.---靶材,，一是實際重量易出現(xiàn)分歧,，二是金屬化以及解綁的時候都會有浪費料，建議墊一片銅片,。

熱壓法：ito靶材的熱壓制作過程是在石墨或氧化鋁制的模具內(nèi)充填入適當(dāng)粉末以后,，以 100kgf/cm 2～1000kgf/cm 2的壓力單軸向加壓，同時以1000℃～1600℃進(jìn)行燒結(jié),。熱壓工藝制作過程所需的成型壓力較小,，金電解槽設(shè)計廠家，燒結(jié)溫度較低,，燒結(jié)時間較短,。但熱壓法生產(chǎn)的ito靶材由于缺氧率高，氧含量分布不均勻,，從而影響了生產(chǎn)ito薄膜的均勻性,，且不能生產(chǎn)大尺寸的靶。