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氣體傳感器介紹工作溫度對傳感器的靈敏度有影響,。下圖左圖為sno2氣敏器件對各種氣體溫度的電阻特性曲線,。由圖可見,,器件在不同溫度下對各種氣體的靈敏度不同,利用這一特性可以識別氣體種類,。制備工藝對sno2的氣敏特性也有很大的影響,。如在sno2中添加tho2,改變燒結(jié)溫度和加熱溫度就可以產(chǎn)生不同的氣敏效應(yīng),。
氣體傳感器種類sno2電阻型氣敏器件通常采用燒結(jié)工藝。以多孔sno2陶瓷為基底材料,,再添加不同的其他物質(zhì),,用制陶工藝燒結(jié)而成,燒結(jié)時埋入加熱電阻絲和測量電極,。此外,,也有用蒸發(fā)和濺射等工藝制成的薄膜器件和多層膜器件,這類器件靈敏度高,,動態(tài)特性好,。
氣體傳感器樣式同體電解質(zhì)在高溫下才會有明顯的導(dǎo)電性。氧化鋯(zro2)是典型的氣體傳感器的材料,。純正的氧化鋯在常溫下是單斜晶結(jié)構(gòu),,當(dāng)溫度升到1000℃左右時就會發(fā)生同質(zhì)異晶轉(zhuǎn)變,由單斜晶結(jié)構(gòu)變?yōu)槎嗑ЫY(jié)構(gòu),,并伴隨體積收縮和吸熱反應(yīng),,因此是不穩(wěn)定結(jié)構(gòu)。在zro2中摻入穩(wěn)定劑如:堿土氧化鈣cao或稀土氧化釔y2o3,使其成為穩(wěn)定的熒石立方晶體,,穩(wěn)定程度與穩(wěn)定劑的濃度有關(guān),。
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