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直徑100um的硅片,，溫度上升1度,，就引起了0.24um線性膨脹，手術(shù)室凈化工程規(guī)范,，所以必須有±0.1度的恒溫,，同時要求濕度值一般較低，雞西手術(shù)室凈化工程,，因為人出汗以后,，對產(chǎn)品將有污染,，---是怕鈉的半導(dǎo)體車間,，這種車間不宜超過25度。
濕度過高產(chǎn)生的問題更多,。相對濕度超過55%時,，手術(shù)室凈化工程圖，冷卻水管壁上會結(jié)露,，如果發(fā)生在精密裝置或電路中,，就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹,。凈化工程要控制溫濕度具體有什么措施,？
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