蘇州晶淼半導(dǎo)體設(shè)備有限公司為您提供半導(dǎo)體晶圓硅片清洗機(jī)，蘇州晶淼,。全自動(dòng)設(shè)備：晶圓片在工藝槽之間的移動(dòng),，通過(guò)機(jī)械手完成�,？蓪�(shí)現(xiàn)干進(jìn)干出,，自動(dòng)上料、自動(dòng)下料,，自動(dòng)配液,、自動(dòng)補(bǔ)液。全自動(dòng)多用于工作環(huán)境,、工藝要求高的工序,，以及大尺寸晶圓清洗。
半自動(dòng)設(shè)備：晶圓片花籃在工藝槽之間的移動(dòng),，通---工取放,；通過(guò)彩色觸摸屏實(shí)現(xiàn)人機(jī)溝通交互和完成�,？蓪�(shí)現(xiàn)工藝參數(shù)的設(shè)定,、修改和儲(chǔ)存、清洗過(guò)程的實(shí)時(shí)監(jiān)控和時(shí)顯示,，工作完成提示,、故障報(bào)警等。各工藝槽具備一鍵操作按鈕。
手動(dòng)設(shè)備特定：晶圓片在工藝槽之間的移動(dòng),，通---工取放,。工藝操作通過(guò)按鈕或手動(dòng)閥實(shí)現(xiàn)，人為-性強(qiáng),。操作和維護(hù)簡(jiǎn)便,，設(shè)備和使用成本投入低。
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