成都超邁光電科技有限公司為您提供電磁耦合磁控濺射鍍膜機(jī),。設(shè)備主要由真空腔體、真空系統(tǒng),、工件盤(pán)系統(tǒng),、烘烤系統(tǒng)、濺射系統(tǒng),、離子轟擊系統(tǒng),、充氣系統(tǒng)和在線(xiàn)測(cè)量系統(tǒng)組成，同時(shí)匹配空氣壓縮氣體氣源和水冷系統(tǒng),，可根據(jù)客戶(hù)使用需求定制,。
真空腔體：φ900x1050，雙層水冷,；可根據(jù)實(shí)際需求定制
真空系統(tǒng)：分子泵+低溫泵+羅茨泵+機(jī)械泵復(fù)合真空系統(tǒng),；
真空抽速：4000-7000l/s，進(jìn)口全量程復(fù)合真空計(jì),，全金屬防爆真空規(guī),；
磁控靶組件：4個(gè)矩形靶，4個(gè)圓柱靶,，根據(jù)客戶(hù)實(shí)際需要匹配中頻,、射頻、脈沖直流濺射電源,；
離子源：2套線(xiàn)性離子源,，匹配---電源；
氣路：4路反應(yīng)氣體,，進(jìn)口流量計(jì),，1路毛細(xì)保護(hù)氣路；
烘烤溫度：400℃,，不銹鋼鎧裝加熱器,，可拆卸快裝結(jié)構(gòu)；
工件盤(pán)：導(dǎo)軌多工位行星工件盤(pán)2套標(biāo)準(zhǔn)配置為12工位和24工位,，可擴(kuò)展數(shù)百件工件共同沉積,，工件盤(pán)裝夾移動(dòng)小車(chē)一輛,；
控制系統(tǒng)：西門(mén)子plc+西門(mén)子人機(jī)界面+工業(yè)控制計(jì)算機(jī)。
---說(shuō)明：該設(shè)備為公司與中科院某所合作研制,，獲得---科技進(jìn)步,、---科技發(fā)明獎(jiǎng)、機(jī)械工業(yè)科技進(jìn)步一等獎(jiǎng)和中科院重大設(shè)備專(zhuān)項(xiàng)等-,，公司提供一攬子技術(shù)解決方案,，同時(shí)與合作伙伴共享---。

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