蘇州深鉑維溫控設(shè)備有限公司為您提供tc wafer .,。蘇州深鉑維溫控設(shè)備有限公司為您提供tcwafer。臺(tái)灣菘啟工業(yè)有限公司設(shè)計(jì)和制造溫度測(cè)量解決方案,,為您提供靈敏度,、快速響應(yīng)和一致的精度。臺(tái)灣菘啟工業(yè)有限工公司致力于以的技術(shù)服務(wù)及時(shí)提供其---的wafer晶圓解決方案,。
tc wafer則是直接鑲嵌于晶圓表面的溫度傳感器,,可以實(shí)現(xiàn)晶圓表面溫度的實(shí)時(shí)測(cè)量。借助于放置在晶圓表面特定位置之溫度傳感器,,可獲得這些特定位置的真實(shí)溫度測(cè)量值以及整天晶圓溫度分布,;同時(shí),也可利用此傳感器來(lái)持續(xù)監(jiān)控在熱處理工程中晶圓暫態(tài)溫度變化,例如:升溫,,降溫過(guò)程及---周期等,!溫度的均勻與否,良率
溫度范圍:
低溫:-150 to 700°c硅基膠粘劑
高度:-150 to 1,200°c焊接設(shè)計(jì)
熱電偶選型:
● type k (精度級(jí)別±1.1°c/0.4%) ,,溫度范圍 -270 to 1,372°c
● type n (精度級(jí)別±1.1°c/0.4%),, 溫度范圍 -270 to 1,300°c
● type e (精度級(jí)別±1.0°c/0.4%) ,溫度范圍 -270 to 1,000°c
● type t (精度級(jí)別±0.5°c/0.4%) ,,溫度范圍 -270 to 400°c
● type r/s (精度級(jí)別±1.5°c/0.25%) ,,溫度范圍 -50 to 1,768°c
晶圓材質(zhì):
硅、altic,、玻璃,、陶瓷、碳化硅和其他客戶提供的白板的,、涂層的或圖案基底,。可按客戶要求定制基板,、形狀和尺寸,。
主要規(guī)格:
4寸,6寸,,8寸,,12寸
擴(kuò)展線:可絕緣層材質(zhì),接頭類型,。密封的聚酰扁平電纜,,可在---中打到10-7托。長(zhǎng)度有客戶
傳感器引線:長(zhǎng)達(dá)40英尺–可定制,
被覆材質(zhì):石英 陶瓷纖維 tef
絕緣材料:石英,,聚四氟乙烯,,二氧化硅,陶瓷,,聚酰
線規(guī):20 awg – 40 awg
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