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電子氣體

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寧波森泉科技有限公司為您提供電子氣體。簡要描述:電子氣體包裝:1-40升瓶裝,,標準充裝壓力:9.5 mpa,,組分和濃度范圍可根據要求配制。
氣體工業(yè)名詞,,半導體工業(yè)用的氣體統(tǒng)稱電子氣體,。按其門類可分為純氣,高純氣和半導體特殊材料氣體三大類,。特殊材料氣體主要用于外延,,摻雜和蝕刻工藝;高純氣體主要用作稀釋氣和運載氣,。電子氣體是特種氣體的一個重要分支,。電子氣體按純度等級和使用場合,可分為電子級,,lsi-集成電路級,,vlsi---規(guī)模集成電路)級和ulsi(---規(guī)模集成電路級。
電子氣體是發(fā)展集成電路,、光電子,、微電子,---是---規(guī)模集成電路,、液晶顯示器件,、半導體發(fā)光器件和半導體材料制造過程中不可缺少的基礎性支撐源材料,它被稱為電子工業(yè)的“---”和“糧食”,,它的純度和潔凈度直接影響到光電子,、微電子元器件的、集成度,、特定技術指標和成品率,,并從---上制約著電路和器件的---性和準確性,。
隨著電子消費品的升級換代,產品制造尺寸越來越大,,產品成品率和缺陷控制越來越嚴格,,整個電子工業(yè)界對電子氣體氣源純度,以及杜絕輸送系統(tǒng)二次污染的要求越來越苛刻,�,;旧瞎I(yè)界對電子氣體氣相不純物以及顆粒度污染提出的技術指標,直接與分析儀器技術進步帶來的---檢測---ldl相關聯,。如傳統(tǒng)的激光顆粒測試儀可測到0.1微米,,而核凝結技術cnc可達到0.01微米。
目前12英寸---規(guī)模集成電路制造線寬已經發(fā)展到45納米,, 對于大宗氣體的純度都要求在ppt級別, 顆粒度控制直指cnc分析儀器的下限,。實驗室亮度發(fā)光二極管led技術指標已達到200lm/w流明/瓦以上,對于氫氣和氨氣的純度控制要求也都小于1ppb十億分之一,,氨氣則采用多級精餾生產,,技術指標到達7n7個9的“白氨”,5n的氫氣需要采用---的鈀膜純化器提純至9n,。
輸送管路系統(tǒng)普遍采用了316l不銹鋼電解拋光ep管道,,高純調壓閥、隔膜閥,、高精密過濾器<0.003μm,、vcr接頭等,接觸氣體的管路部件表面粗糙度可控制在5uin,,同時采用零死區(qū)設計,。施工技術采用全自動軌道焊接,同時制定和實施嚴格的純施工和qa/qc---程序,。
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