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日本okamoto gnx200b全自動(dòng)研磨機(jī)特點(diǎn):
1. 適用晶圓尺寸厚度晶圓尺寸:4”,、5”,、6”,、8”晶圓厚度:1000μm
2. 研磨方法向下進(jìn)給式研磨在線測(cè)量厚度控制
3. 操作方法全自動(dòng),、半自動(dòng)、手動(dòng)
4. 操作面板主控制面板:17 寸,,顯示研削條件,,操作輸入;顯示系統(tǒng)功能條件,,監(jiān)控空氣壓力,,電流,水流量等分控制面板: 厚度控制顯示
5. 設(shè)備尺寸及重量尺寸:1350 (w) x 2370 (d) x 1845 (h)
重量:3900 kg
gnx200b全自動(dòng)研磨機(jī)規(guī)格:
規(guī)格 gnx200b
加工直徑 ф200
軸承旋轉(zhuǎn)數(shù) 0~3600min-1
軸承驅(qū)動(dòng)電機(jī) 2.2/4 kw/p
軸承進(jìn)給速率 1~999μm/min
主軸數(shù) 2
工作軸旋轉(zhuǎn)數(shù) 1~300min-1
軸承尺寸外徑 ф250
3900mm
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