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sintaike stk-5120半自動(dòng)晶圓減薄后撕膜機(jī)規(guī)格：
晶圓尺寸：8”12”晶圓,；
厚度：150 ～750微米,；
晶圓種類：硅,；平邊或v型缺口晶圓,；
撕膠膜種類：撕膜膠帶,；
寬度：38～100毫米,；
長(zhǎng)度：100米,；
撕膜角度：<45度,，并且在 5°～45°可調(diào)節(jié)；
撕膜溫度：室溫到100 ℃范圍可調(diào),，控溫精度+/-3℃,；
晶圓臺(tái)盤(pán)：通用防靜電特氟龍涂層接觸式金屬臺(tái)盤(pán)；
帶可控加熱功能,，溫度max可達(dá)100℃,；
臺(tái)盤(pán)帶吸真空功能；
裝卸方式：晶圓手動(dòng)放置與取出,；
防靜電控制：離子風(fēng)扇,；
晶圓定位：彈簧銷釘定位；
控制單元：基于plc 控制,，并配有5.7”觸摸屏,；
驅(qū)動(dòng)單元：伺服馬達(dá)驅(qū)動(dòng)；
安全保護(hù)：配置緊急停機(jī)按鈕,；
電源電壓：?jiǎn)蜗嘟涣麟?20v,，5a；
壓縮空氣：5公斤清潔干燥壓縮空氣,流量每分鐘80升/分鐘,；
機(jī)器外殼：白色噴塑金屬外殼,；
機(jī)器指示：三色燈塔顯示機(jī)臺(tái)工作狀態(tài)；
體積：660毫米(寬) x 1170毫米(深) x 1000毫米(含燈塔高),；
凈重：75公斤,；
晶圓撕膜機(jī)stk-5120性能
晶圓收益：***99.9%；
撕膜：無(wú)裂片,；
每小時(shí)產(chǎn)能：*** 80片晶圓,；
更換產(chǎn)品時(shí)間：≤ 5分鐘
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