天津吉兆源科技有限公司為您提供13.56mhz射頻電源大功率。

產(chǎn)品性能

該電源輸出功率可達2500w到5000w ,，頻率13.56mhz,，標準正弦波。該系列電源具有功率輸出精度高,、穩(wěn)定,、可重復等優(yōu)點,。電源采用大屏幕液晶顯示：設定功率、入射功率,、反射功率,、狀態(tài)等參數(shù)，同時還可以顯示匹配器的運行參數(shù)并且通過電源面板可操作射頻匹配器,。

應用對象

該電源可以作為射頻驅(qū)動等離子體系統(tǒng)的電源,，該系統(tǒng)可應用于半導體工業(yè)。應用對象包括：刻蝕,、rie,、平行板、icp,、磁控濺射,、cvd、pvd,、等離子清洗和pecvd等系統(tǒng),。

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