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未知異物分析：主要針對較難辨別異物類型的情況下進行的綜合分析，主要是結(jié)合了有機異物分析及無機異物分析的方法,。其分析手段主要有以下幾種：

 分析手段       典型應(yīng)用        分析特點 參考標準 紅外光譜ftir 有機物定性,；有機污染物分析 能進行微區(qū)分析,，其顯微鏡測量孔徑可到8nm或更小，可方便地根據(jù)需要選擇樣品不同部分進行分析 gb/t 6040-2002 掃描電子顯微鏡&x射線能譜sem/eds 表面微觀形貌觀察,；微米級尺寸量測,；微區(qū)成分分析；污染物分析 能快速的對各種試樣的微區(qū)內(nèi)be~u的大部分元素進行定性,、定量分析,，分析時間短 jy/t 010-1996
gb/t 17359-2012 飛行時間二次離子質(zhì)譜儀tof-sims 有機材料和無機材料的表面微量分析；表面離子成像,；shendu剖面分析 優(yōu)異的摻雜劑和雜質(zhì)檢測靈敏度可以檢測到ppm或更di的濃du,；shendu剖析具有jiao好的檢測xianzhi和shendu辨析率；小面積分析 astm e1078-2009
astm e1504-2011
astm e1829-2009 動態(tài)二次離子質(zhì)譜d-sims 有機材料和無機材料的表面微量分析,；表面離子成像,；shendu剖面分析 分析區(qū)域小，能分析10nm直徑的異物成分,；分析shendu淺,，可測量1nm樣品；檢出限高,，一般是ppm-ppb級別 astm e1078-2009
astm e1504-2011
astm e1829-2009 俄歇電子能譜aes 缺陷分析,；顆粒分析；shendu剖面分析,；薄膜成分分析 可以作表面微區(qū)分析,，并且可以從熒光屏上直接獲得俄歇元素像 gb/t 26533-2011 x射線光電子能譜xps 有機材料、無機材料,、污點,、殘留物的表面分析,；表面成分及化學狀態(tài)信息；shendu剖面分析 分析層薄,，分析元素廣,，可以分析樣品表面1-12nm的元素和元素含量 gb/t 30704-2014

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