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分析手段
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典型應(yīng)用
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分析特點(diǎn)
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參考標(biāo)準(zhǔn)
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紅外光譜ftir
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有機(jī)物定性,；有機(jī)污染物分析
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能進(jìn)行微區(qū)分析，其顯微鏡測(cè)量孔徑可到8nm或更小,，可方便地根據(jù)需要選擇樣品不同部分進(jìn)行分析
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gb/t 6040-2002
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掃描電子顯微鏡&x射線能譜sem/eds
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表面微觀形貌觀察,；微米級(jí)尺寸量測(cè)；微區(qū)成分分析,；污染物分析
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能快速的對(duì)各種試樣的微區(qū)內(nèi)be~u的大部分元素進(jìn)行定性,、定量分析,，分析時(shí)間短
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jy/t 010-1996
gb/t 17359-2012
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飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜儀tof-sims
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有機(jī)材料和無(wú)機(jī)材料的表面微量分析,；表面離子成像；shendu剖面分析
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優(yōu)異的摻雜劑和雜質(zhì)檢測(cè)靈敏度可以檢測(cè)到ppm或更di的濃du,；shendu剖析具有jiao好的檢測(cè)xianzhi和shendu辨析率,；小面積分析
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astm e1078-2009
astm e1504-2011
astm e1829-2009
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動(dòng)態(tài)二次離子質(zhì)譜d-sims
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有機(jī)材料和無(wú)機(jī)材料的表面微量分析；表面離子成像,；shendu剖面分析
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分析區(qū)域小,，能分析10nm直徑的異物成分；分析shendu淺,，可測(cè)量1nm樣品,；檢出限高，一般是ppm-ppb級(jí)別
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astm e1078-2009
astm e1504-2011
astm e1829-2009
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俄歇電子能譜aes
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缺陷分析,；顆粒分析,；shendu剖面分析；薄膜成分分析
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可以作表面微區(qū)分析,，并且可以從熒光屏上直接獲得俄歇元素像
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gb/t 26533-2011
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x射線光電子能譜xps
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有機(jī)材料,、無(wú)機(jī)材料、污點(diǎn),、殘留物的表面分析,；表面成分及化學(xué)狀態(tài)信息；shendu剖面分析
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分析層薄,，分析元素廣,，可以分析樣品表面1-12nm的元素和元素含量
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gb/t 30704-2014
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