|
分析手段
|
典型應(yīng)用
|
分析特點(diǎn)
|
參考標(biāo)準(zhǔn)
|
|
紅外光譜ftir
|
有機(jī)物定性,；有機(jī)污染物分析
|
能進(jìn)行微區(qū)分析,，其顯微鏡測量孔徑可到8nm或更小,，可方便地根據(jù)需要選擇樣品不同部分進(jìn)行分析
|
gb/t 6040-2002
|
|
掃描電子顯微鏡&x射線能譜sem/eds
|
表面微觀形貌觀察,；微米級(jí)尺寸量測,；微區(qū)成分分析；污染物分析
|
能快速的對(duì)各種試樣的微區(qū)內(nèi)be~u的大部分元素進(jìn)行定性,、定量分析，分析時(shí)間短
|
jy/t 010-1996
gb/t 17359-2012
|
|
飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜儀tof-sims
|
有機(jī)材料和無機(jī)材料的表面微量分析,；表面離子成像,；shendu剖面分析
|
優(yōu)異的摻雜劑和雜質(zhì)檢測靈敏度可以檢測到ppm或更di的濃du；shendu剖析具有jiao好的檢測xianzhi和shendu辨析率,；小面積分析
|
astm e1078-2009
astm e1504-2011
astm e1829-2009
|
|
動(dòng)態(tài)二次離子質(zhì)譜d-sims
|
有機(jī)材料和無機(jī)材料的表面微量分析,；表面離子成像；shendu剖面分析
|
分析區(qū)域小,，能分析10nm直徑的異物成分,；分析shendu淺，可測量1nm樣品,；檢出限高,，一般是ppm-ppb級(jí)別
|
astm e1078-2009
astm e1504-2011
astm e1829-2009
|
|
俄歇電子能譜aes
|
缺陷分析；顆粒分析,；shendu剖面分析,；薄膜成分分析
|
可以作表面微區(qū)分析，并且可以從熒光屏上直接獲得俄歇元素像
|
gb/t 26533-2011
|
|
x射線光電子能譜xps
|
有機(jī)材料,、無機(jī)材料,、污點(diǎn)、殘留物的表面分析,；表面成分及化學(xué)狀態(tài)信息,；shendu剖面分析
|
分析層薄，分析元素廣，可以分析樣品表面1-12nm的元素和元素含量
|
gb/t 30704-2014
|
登錄后臺(tái)
滇公網(wǎng)安備 53011202000392