四、對(duì)準(zhǔn)alignment

光刻對(duì)準(zhǔn)技術(shù)是---前的一個(gè)重要步驟作為光刻的三大技術(shù)之一,，一般要求對(duì)準(zhǔn)精度為細(xì)線寬尺寸的 1/7---1/10,。隨著光刻分辨力的提高 ,，對(duì)準(zhǔn)精度要求也越來(lái)越高 ，例如針對(duì) 45am線寬尺寸 ,，對(duì)準(zhǔn)精度要求在5am 左右,。

受光刻分辨力提高的推動(dòng) ，對(duì)準(zhǔn)技術(shù)也經(jīng)歷 迅速而多樣的發(fā)展 ,。從對(duì)準(zhǔn)原理上及標(biāo)記結(jié) 構(gòu)分類 ,，對(duì)準(zhǔn)技術(shù)從早期的投影光刻中的幾何成像對(duì)準(zhǔn)方式 ，nr9 1500py光刻膠,，包括視頻圖像對(duì)準(zhǔn),、雙目顯微鏡對(duì)準(zhǔn)等，一直到后來(lái)的波帶片對(duì)準(zhǔn)方式 ,、干涉強(qiáng)度對(duì)準(zhǔn) ,、激光外差干涉以及莫爾條紋對(duì)準(zhǔn)方式 。從對(duì)準(zhǔn)信號(hào)--- ,，nr9 1500py光刻膠多少錢,，主要包括標(biāo)記的顯微圖像對(duì)準(zhǔn) 、基于光強(qiáng)信息的對(duì)準(zhǔn)和基于相位信息對(duì)準(zhǔn),。